公开(公告)号：CN1723423A

公开(公告)日：2006-01-18

申请号：CN200480001737.X

申请日：2004-02-12

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 希尤·A.·莱姆 ,  凯文·A.·查姆尼斯 ,  岳江宇 ,  戴维·法特克 ,  原田智 ,  爱德华·C.·休姆三世 ,  詹姆斯·E.·威利斯

IPC: G05B19/418 ,  H01L21/66

CPC classification number: Y02P90/02

Abstract: 一种为半导体制造环境自动配置先进工艺控制(APC)系统的方法，其中产生用于执行自动配置程序的自动配置脚本。自动配置脚本激活用于输入到自动配置程序中的默认值。执行自动配置脚本，以便产生从自动配置程序输出的启用参数文件。启用参数文件识别用于统计工艺控制(SPC)图表生成的参数。

公开(公告)号：CN100468256C

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN200480001737.X

申请日：2004-02-12

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 希尤·A.·莱姆 ,  凯文·A.·查姆尼斯 ,  岳江宇 ,  戴维·法特克 ,  原田智 ,  爱德华·C.·休姆三世 ,  詹姆斯·E.·威利斯

IPC: G05B19/418 ,  H01L21/66

CPC classification number: Y02P90/02

Abstract: 一种为半导体制造环境自动配置先进工艺控制(APC)系统的方法，其中产生用于执行自动配置程序的自动配置脚本。自动配置脚本激活用于输入到自动配置程序中的默认值。执行自动配置脚本，以便产生从自动配置程序输出的启用参数文件。启用参数文件识别用于统计工艺控制(SPC)图表生成的参数。