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发明公开
一种微纳气体传感阵列动态测试方法无效

公开(公告)号：CN110031591A

公开(公告)日：2019-07-19

申请号：CN201910316924.5

申请日：2019-04-19

申请人： 东北大学

发明人： 苑振宇 , 吴同 , 李俊峰 , 林鑫 , 佟逸驰

IPC分类号： G01N33/00

摘要： 一种微纳气体传感阵列动态测试方法，步骤为：在每个待测传感器主体上方加装一根外套陶瓷管的电阻丝，用于对传感器所在区域进行温度调控；准备一张传感阵列安装板，在板上划设出若干区域，每个区域通过隔温板隔离，区域上方为敞开式结构，用于与待测气体环境保持接触；在每个区域内安装数量相等的传感器，传感器呈矩阵式排列，同一区域内的传感器类型相同；将安装有传感器的传感阵列安装板送入待测气体环境中，对各个区域内温度进行独立调控，使各个区域内的温度动态改变，得到每一个区域内的传感器响应能力随温度变化曲线；调整测气体环境中气体浓度，重复温度调控步骤；调整待测气体环境中的待测气体种类，重复温度调控步骤和气体浓度调控步骤。