公开(公告)号：CN109830422B

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201910142821.1

申请日：2019-02-26

申请人： 东北大学

发明人： 刘坤 ,  臧浩天 ,  杜广煜 ,  刘晓杰 ,  宁久鑫 ,  王晓东 ,  巴德纯

IPC分类号： H01J41/18

摘要： 本发明涉及一种溅射离子泵磁路结构及溅射离子泵,包括抽气组件、一对梯台型磁轭、磁铁和下方磁轭，所述下方磁轭的两端上方分别设有所述磁铁，所述磁铁的上面固定梯台型磁轭，所述梯台型磁轭下宽上窄设置，所述一对梯台型磁轭的垂直面相对设置，所述抽气组件固定于两个梯台型磁轭之间，随着与磁铁距离的增大，所述梯台型磁轭的厚度逐渐缩小，收缩其中的磁力线，使抽气组件空间内形成磁感应强度不变的均匀磁场。该磁路结构中磁轭将大量磁力线束，带有磁轭的抽气组件内阳极筒轴线处的磁感应强度整体高于没有磁轭的抽气组件，磁场利用率高，提高效果明显，结构简单，有效降低了泵的体积和重量，降低了加工成本。

公开(公告)号：CN106611694B

公开(公告)日：2018-04-10

申请号：CN201710042133.9

申请日：2017-01-20

申请人： 东北大学

发明人： 刘坤 ,  孙飞 ,  刘晓杰 ,  姚文浩 ,  邓文宇 ,  陈树雷 ,  杜广煜 ,  巴德纯

IPC分类号： H01J49/42 ,  H01J49/02

摘要： 本发明涉及一种检测分析设备，尤其涉及一种质谱仪用极杆及质谱仪。上述极杆包括极杆本体和膜层，膜层采用真空镀膜工艺形成在极杆本体上。真空镀膜工艺相对于现有复杂加工工艺成本更低；通过对极杆本体表面进行镀膜处理，可弥补极杆本体的加工缺陷，改善极杆尺寸精度，使其满足圆柱度、表面粗糙度等加工精度要求，同时使极杆获得良好的导电性、耐腐蚀性和热稳定性、较少的真空释气、较低的二次离子效应、表面粒子不易释放、耐污染等特点，进而使用该极杆的质谱仪可产生理想电场，并且完成检测工作的同时延长极杆的使用寿命；对极杆本体材料类型的要求降低，可选用价格低的材料。质谱仪包括上述极杆，成本低、能够保证理想电场的产生，使用寿命长。

公开(公告)号：CN109830422A

公开(公告)日：2019-05-31

申请号：CN201910142821.1

申请日：2019-02-26

申请人： 东北大学

发明人： 刘坤 ,  臧浩天 ,  杜广煜 ,  刘晓杰 ,  宁久鑫 ,  王晓东 ,  巴德纯

IPC分类号： H01J41/18

摘要： 本发明涉及一种溅射离子泵磁路结构及溅射离子泵,包括抽气组件、一对梯台型磁轭、磁铁和下方磁轭，所述下方磁轭的两端上方分别设有所述磁铁，所述磁铁的上面固定梯台型磁轭，所述梯台型磁轭下宽上窄设置，所述一对梯台型磁轭的垂直面相对设置，所述抽气组件固定于两个梯台型磁轭之间，随着与磁铁距离的增大，所述梯台型磁轭的厚度逐渐缩小，收缩其中的磁力线，使抽气组件空间内形成磁感应强度不变的均匀磁场。该磁路结构中磁轭将大量磁力线束，带有磁轭的抽气组件内阳极筒轴线处的磁感应强度整体高于没有磁轭的抽气组件，磁场利用率高，提高效果明显，结构简单，有效降低了泵的体积和重量，降低了加工成本。

公开(公告)号：CN106837800A

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201710091366.8

申请日：2017-02-21

申请人： 东北大学

发明人： 巴德纯 ,  刘晓杰 ,  刘坤 ,  孙松刚 ,  陈树雷

IPC分类号： F04C29/04

CPC分类号： F04C29/04 ,  F04C2210/26

摘要： 本发明属于真空技术领域，具体涉及一种带有内循环冷却系统的螺杆真空泵。本发明的技术方案如下：一种带有内循环冷却系统的螺杆真空泵，包括泵体和齿轮箱，主动转子设置在所述泵体内，所述泵体的泵壁和所述齿轮箱的腔壁内设有环绕形水套，所述环绕形水套内装有冷媒；所述主动转子的轴端一侧安装磁力循环泵，所述磁力循环泵通过冷媒循环管带动所述冷媒进行内循环；所述环绕形水套内缠绕有冷却水管，所述泵体的泵壁上设有小孔，所述冷却水管通过所述小孔伸到所述泵体的外部；所述冷却水管内通室温下的冷水对所述冷媒进行冷却。本发明提供的带有内循环冷却系统的螺杆真空泵，能够提高使用寿命，能够节水节能。

公开(公告)号：CN106611694A

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：CN201710042133.9

申请日：2017-01-20

申请人： 东北大学

发明人： 刘坤 ,  孙飞 ,  刘晓杰 ,  姚文浩 ,  邓文宇 ,  陈树雷 ,  杜广煜 ,  巴德纯

IPC分类号： H01J49/42 ,  H01J49/02

CPC分类号： H01J49/4215 ,  H01J49/02

摘要： 本发明涉及一种检测分析设备，尤其涉及一种质谱仪用极杆及质谱仪。上述极杆包括极杆本体和膜层，膜层采用真空镀膜工艺形成在极杆本体上。真空镀膜工艺相对于现有复杂加工工艺成本更低；通过对极杆本体表面进行镀膜处理，可弥补极杆本体的加工缺陷，改善极杆尺寸精度，使其满足圆柱度、表面粗糙度等加工精度要求，同时使极杆获得良好的导电性、耐腐蚀性和热稳定性、较少的真空释气、较低的二次离子效应、表面粒子不易释放、耐污染等特点，进而使用该极杆的质谱仪可产生理想电场，并且完成检测工作的同时延长极杆的使用寿命；对极杆本体材料类型的要求降低，可选用价格低的材料。质谱仪包括上述极杆，成本低、能够保证理想电场的产生，使用寿命长。