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公开(公告)号：CN105088194A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510535620.X
申请日：2015-08-28
申请人： 东北大学
IPC分类号： C23C16/46
摘要： 本发明涉及一种微波加热的化学气相沉积设备，包括：腔体，在所述腔体内设有圆盘形挂架，所述圆盘形挂架的上面设有主轴，所述主轴的上端连接动力装置，所述圆盘形挂架的下面设有转轴，所述转轴通过传动齿轮与主轴连接，所述转轴的下端连接圆柱形基体，所述腔体内壁设有保温层，在所述腔体的底部连接有进气装置，所述进气装置外壁设有水冷夹层、内部设有一个或多个均匀分布的挡板，所述腔体的侧壁连接有喇叭状的波导管。本发明采用微波发生器进行调节微波加热功率，进而调节加热速度和温度，不仅加热效率高，还保证镀膜厚度的准确，所镀的膜厚度均匀、表面光滑。
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公开(公告)号：CN105080727B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201510535621.4
申请日：2015-08-28
申请人： 东北大学
摘要： 一种从电弧炉制得二硼化钛中反浮选脱碳的方法。步骤包括：首先对经直流电弧炉碳热还原法制得的块状二硼化钛进行破碎、精磨，制得二硼化钛粉体；向二硼化钛粉体中加入调整剂、捕收剂和起泡剂，进行一级反浮选，得到一级二硼化钛悬浮液和一级废液，将一级二硼化钛悬浮液过滤烘干，得到一级二硼化钛粉末；向一级二硼化钛粉末中加入调整剂、捕收剂和起泡剂，进行二级反浮选，得到二级二硼化钛悬浮液和二级废液，将二级二硼化钛悬浮液过滤烘干，得到最终的二硼化钛粉末；将一级废液和二级废液进行沉淀分离得到三级二硼化钛悬浮液和废渣，将三级二硼化钛悬浮液过滤烘干后得到的二硼化钛粉末作为反浮选原料循环应用。本发明脱碳效率高，综合成本低。
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公开(公告)号：CN105112889A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201510535892.X
申请日：2015-08-28
申请人： 东北大学
IPC分类号： C23C16/46
摘要： 本发明涉及化学气相沉积（CVD）技术领域，具体涉及一种利用微波加热的化学气相沉积方法。所述方法步骤包括：（1）将石墨、碳化硅、石墨复合材料或碳化硅复合材料中的一种，加工成所需形状的基体，悬挂在反应腔体内，将反应腔体密封并抽真空至0.1~1Torr；（2）利用微波辐射加热基体，微波的输出功率为1～80kW，将基体加热至500～1200℃；（3）向反应腔体内通入反应气体，通气时间为1~20小时，在通气过程中，基体温度保持在500～1200℃，得到薄膜材料，反应尾气经过金属屑以及喷淋洗涤完全吸收后排出。本发明利用微波加热基体，缩短了基体升温时间，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN105088194B
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201510535620.X
申请日：2015-08-28
申请人： 东北大学
IPC分类号： C23C16/46
摘要： 本发明涉及一种微波加热的化学气相沉积设备，包括：腔体，在所述腔体内设有圆盘形挂架，所述圆盘形挂架的上面设有主轴，所述主轴的上端连接动力装置，所述圆盘形挂架的下面设有转轴，所述转轴通过传动齿轮与主轴连接，所述转轴的下端连接圆柱形基体，所述腔体内壁设有保温层，在所述腔体的底部连接有进气装置，所述进气装置外壁设有水冷夹层、内部设有一个或多个均匀分布的挡板，所述腔体的侧壁连接有喇叭状的波导管。本发明采用微波发生器进行调节微波加热功率，进而调节加热速度和温度，不仅加热效率高，还保证镀膜厚度的准确，所镀的膜厚度均匀、表面光滑。
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公开(公告)号：CN105080727A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510535621.4
申请日：2015-08-28
申请人： 东北大学
摘要： 一种从电弧炉制得二硼化钛中反浮选脱碳的方法。步骤包括：首先对经直流电弧炉碳热还原法制得的块状二硼化钛进行破碎、精磨，制得二硼化钛粉体；向二硼化钛粉体中加入调整剂、捕收剂和起泡剂，进行一级反浮选，得到一级二硼化钛悬浮液和一级废液，将一级二硼化钛悬浮液过滤烘干，得到一级二硼化钛粉末；向一级二硼化钛粉末中加入调整剂、捕收剂和起泡剂，进行二级反浮选，得到二级二硼化钛悬浮液和二级废液，将二级二硼化钛悬浮液过滤烘干，得到最终的二硼化钛粉末；将一级废液和二级废液进行沉淀分离得到三级二硼化钛悬浮液和废渣，将三级二硼化钛悬浮液过滤烘干后得到的二硼化钛粉末作为反浮选原料循环应用。本发明脱碳效率高，综合成本低。
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