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公开(公告)号：CN112160919A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN202011037619.1
申请日：2020-09-28
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明提供一种涡轮分子泵和包括该分子泵的复合分子泵，所述涡轮分子泵包括：壳体；定子部件，定子部件包括定子本体及在定子本体上间隔设置有环形的定子叶片排，且定子叶片排中叶片的第一端倾斜设置；转子部件，转子部件包括旋转轴、安装在旋转轴上的转子本体及在转子本体上间隔设置有环形的转子叶片排，转子叶片排中的叶片和定子叶片排中的叶片沿径向方式交替排布并具有一定间隙以形成压缩气体的第一排气通道，朝向定子叶片排的转子本体表面沿径向方向向上倾斜；驱动部件，驱动部件的输出端与旋转轴连接以驱动转子本体转动。该涡轮分子泵在具有较高的压缩比和可靠性的同时，其结构紧凑以满足小型化的需求。
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公开(公告)号：CN109737034A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201910109694.5
申请日：2019-02-11
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明属于干式真空泵系统领域，尤其涉及一种含有泵前冷凝器的干式真空系统。该系统包括真空泵单元和泵前冷凝单元，所述泵前冷凝单元包括泵前冷凝器，所述泵前冷凝器包括五个端口；泵前冷凝器的第一端口通过物料进管与真空物料入口连接，第二端口通过第一物料管与真空泵单元连接，第三端口与冷凝液排出管连接，第四端口和第五端口分别通过第三冷冻盐水出管和第三冷冻盐水进管与第三冷冻盐水出口和第三冷冻盐水入口连接。本发明提供一种含有泵前冷凝器的干式真空系统，该系统中在真空泵之前设置泵前冷凝器，作为可凝性气体的捕集单元，改善真空泵及管路容易产生积水现象。
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公开(公告)号：CN109737034B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN201910109694.5
申请日：2019-02-11
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明属于干式真空泵系统领域，尤其涉及一种含有泵前冷凝器的干式真空系统。该系统包括真空泵单元和泵前冷凝单元，所述泵前冷凝单元包括泵前冷凝器，所述泵前冷凝器包括五个端口；泵前冷凝器的第一端口通过物料进管与真空物料入口连接，第二端口通过第一物料管与真空泵单元连接，第三端口与冷凝液排出管连接，第四端口和第五端口分别通过第三冷冻盐水出管和第三冷冻盐水进管与第三冷冻盐水出口和第三冷冻盐水入口连接。本发明提供一种含有泵前冷凝器的干式真空系统，该系统中在真空泵之前设置泵前冷凝器，作为可凝性气体的捕集单元，改善真空泵及管路容易产生积水现象。
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公开(公告)号：CN109681637A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201910120387.7
申请日：2019-02-18
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明属于机械密封技术领域，尤其涉及一种用于螺杆式真空干泵的双端面干气密封。该双端面干气密封包括轴套、轴承侧压盖、介质侧压盖、隔离梳齿环、第一密封组件和第二密封组件；所述轴套套设在主轴上，所述轴承侧压盖和介质侧压盖分别位于主轴的轴承侧和介质侧，且均套设在所述轴套上；轴承侧压盖、介质侧压盖与轴套的外壁之间形成密封腔；所述第一密封组件、第二密封组件和隔离梳齿环由介质侧至轴承侧依次而设置在所述密封腔内。本发明提供用于螺杆式真空干泵的双端面干气密封，该密封采用隔离梳齿环和干气密封组合结构，密封性高、无磨损运转、低能耗、寿命长、效率高且操作简单可靠。
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