公开(公告)号：CN114165465B

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN202111562747.2

申请日：2021-12-20

申请人： 东北大学 ,  沈阳恒进真空科技有限公司

发明人： 巴德纯 ,  黄豫兴 ,  曲绍芬 ,  杨建川 ,  刘坤 ,  王桂鹏 ,  谢元华 ,  高光伟 ,  于德军 ,  刘舒 ,  步怀立

IPC分类号： F04D17/16 ,  F04D29/42 ,  F04D29/46 ,  F04D29/44 ,  F04D27/00

摘要： 本发明公开了一种具有双出口可调节结构蜗壳的离心式风机，包括顶部弧形板、底部弧形板，顶部弧形板位于底部弧形板的上方，顶部弧形板的两侧均向下设置有连接侧板，连接侧板将顶部弧形板与底部弧形板相连接，顶部弧形板、底部弧形板以及两个连接侧板组成的结构为蜗壳，蜗壳的中部开设有贯通的圆孔，圆孔的顶部连接有第一法兰，圆孔的底部连接有第二法兰，第一法兰与第二法兰均用于连接叶轮，蜗壳的两端向下弯曲分别形成第一出风口和第二出风口，第一出风口和第二出风口内均设置有可调节多孔栅板机构，第一出风口内和第二出风口内形成两个风道。本发明能够解决现有离心式风机蜗壳存在出风口风道贴外壁风速过大、出口风速不均匀的问题。

公开(公告)号：CN114165465A

公开(公告)日：2022-03-11

申请号：CN202111562747.2

申请日：2021-12-20

申请人： 东北大学 ,  沈阳恒进真空科技有限公司

发明人： 巴德纯 ,  黄豫兴 ,  曲绍芬 ,  杨建川 ,  刘坤 ,  王桂鹏 ,  谢元华 ,  高光伟 ,  于德军 ,  刘舒 ,  步怀立

IPC分类号： F04D17/16 ,  F04D29/42 ,  F04D29/46 ,  F04D29/44 ,  F04D27/00

摘要： 本发明公开了一种具有双出口可调节结构蜗壳的离心式风机，包括顶部弧形板、底部弧形板，顶部弧形板位于底部弧形板的上方，顶部弧形板的两侧均向下设置有连接侧板，连接侧板将顶部弧形板与底部弧形板相连接，顶部弧形板、底部弧形板以及两个连接侧板组成的结构为蜗壳，蜗壳的中部开设有贯通的圆孔，圆孔的顶部连接有第一法兰，圆孔的底部连接有第二法兰，第一法兰与第二法兰均用于连接叶轮，蜗壳的两端向下弯曲分别形成第一出风口和第二出风口，第一出风口和第二出风口内均设置有可调节多孔栅板机构，第一出风口内和第二出风口内形成两个风道。本发明能够解决现有离心式风机蜗壳存在出风口风道贴外壁风速过大、出口风速不均匀的问题。

公开(公告)号：CN111649404B

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN202010521671.8

申请日：2020-06-10

申请人： 东北大学

发明人： 刘坤 ,  关天恩 ,  黄豫兴 ,  郝明 ,  陈树雷 ,  巴德纯

IPC分类号： F24F3/167 ,  F24F11/74

摘要： 一种内部气流自调节型洁净室及气流调节方法，洁净室包括作业腔室、晶圆储备腔室、风机、送风缓冲腔室、循环送风通道、循环回风通道、送风流量调节机构及回风多级多孔板机构。方法为：启动风机向作业腔室内送风；机械手抓取晶圆后移动；通过传感器获取机械手移动速度和位置信息、作业腔室压力并反馈至计算机；计算机调用内部数据库与反馈数据对比并拟合出乱流度；根据乱流度拟合结果，计算机控制送风流量调节机构增加送风速度，同时调高回风多级多孔板机构的孔隙率，加快涡流耗散；机械手停止移动时，计算机根据机械手停止位置及作业腔室压力大小确定流场恢复所需时间，当流场恢复时间达到后，送风流量调节机构及回风多级多孔板机构恢复初始状态。

公开(公告)号：CN111649404A

公开(公告)日：2020-09-11

申请号：CN202010521671.8

申请日：2020-06-10

申请人： 东北大学

发明人： 刘坤 ,  关天恩 ,  黄豫兴 ,  郝明 ,  陈树雷 ,  巴德纯

IPC分类号： F24F3/16 ,  F24F11/74

摘要： 一种内部气流自调节型洁净室及气流调节方法，洁净室包括作业腔室、晶圆储备腔室、风机、送风缓冲腔室、循环送风通道、循环回风通道、送风流量调节机构及回风多级多孔板机构。方法为：启动风机向作业腔室内送风；机械手抓取晶圆后移动；通过传感器获取机械手移动速度和位置信息、作业腔室压力并反馈至计算机；计算机调用内部数据库与反馈数据对比并拟合出乱流度；根据乱流度拟合结果，计算机控制送风流量调节机构增加送风速度，同时调高回风多级多孔板机构的孔隙率，加快涡流耗散；机械手停止移动时，计算机根据机械手停止位置及作业腔室压力大小确定流场恢复所需时间，当流场恢复时间达到后，送风流量调节机构及回风多级多孔板机构恢复初始状态。

公开(公告)号：CN112683058A

公开(公告)日：2021-04-20

申请号：CN202011566846.3

申请日：2020-12-25

申请人： 东北大学

发明人： 谢元华 ,  陈艺 ,  刘坤 ,  黄豫兴 ,  郝明 ,  陈树雷 ,  巴德纯

IPC分类号： F27B14/06 ,  F27B14/14 ,  F27B14/20 ,  H01M10/058

摘要： 一种用于制备固态电解质材料的真空快淬设备，包括：设备本体，设备本体包括熔炼室、快淬室、中间包；熔炼室内设有感应熔炼装置，感应熔炼装置能被翻转机构在驱动机构的驱动下翻转从而将熔液倾倒注入中间包；快淬室内设有快淬辊装置，快淬辊装置对应设于中间包的出料口下方；真空快淬设备还包括保护进料装置和接料装置，保护进料装置通过进料通道与熔炼室连通，接料装置通过出料通道与快淬室连通，接收、储存由快淬辊装置快淬形成的固态电解质材料。本发明通过控制快淬辊装置辊面线速度在1～100m/s范围内同时控制辊面圆跳动在3μm以内，以获得小粒径、粒度分布集中的固态电解质材料，能实现固态电解质材料的工业化大批量生产。