公开(公告)号：CN109946480A

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201910166559.4

申请日：2019-03-06

申请人： 东南大学

发明人： 杨波 ,  严宏宇 ,  郭鑫

IPC分类号： G01P15/093 ,  B81B7/02 ,  B82Y20/00

摘要： 本发明公开了一种基于拉链式光子晶体微腔的高精度光力式加速度计，包括：布置于加速度计结构的左右两侧的激光入射及接收结构、位于加速度计中部的硅微机械结构、以及位于硅微机械结构底部的布置有电极的玻璃基底结构。激光入射结构布置在主体硅微结构的左侧入射凹槽处，接收结构布置在在主体硅微结构的右侧出射凹槽处。本发明采用光学信号作为微加速计的测量信号，具有较高的灵敏度和较低的不确定度，从而极大提高了微加速度计的检测极限能力，大大提高了检测灵敏度。由于采用了拉链式光子晶体微腔，比目前较普遍的平面平行谐振微纳腔的性能更加稳定，具备更高的光学精度，从而获得更高的加速度灵敏度。

公开(公告)号：CN109946480B

公开(公告)日：2020-08-14

申请号：CN201910166559.4

申请日：2019-03-06

申请人： 东南大学

发明人： 杨波 ,  严宏宇 ,  郭鑫

IPC分类号： G01P15/093 ,  B81B7/02 ,  B82Y20/00

摘要： 本发明公开了一种基于拉链式光子晶体微腔的高精度光力式加速度计，包括：布置于加速度计结构的左右两侧的激光入射及接收结构、位于加速度计中部的硅微机械结构、以及位于硅微机械结构底部的布置有电极的玻璃基底结构。激光入射结构布置在主体硅微结构的左侧入射凹槽处，接收结构布置在在主体硅微结构的右侧出射凹槽处。本发明采用光学信号作为微加速计的测量信号，具有较高的灵敏度和较低的不确定度，从而极大提高了微加速度计的检测极限能力，大大提高了检测灵敏度。由于采用了拉链式光子晶体微腔，比目前较普遍的平面平行谐振微纳腔的性能更加稳定，具备更高的光学精度，从而获得更高的加速度灵敏度。