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公开(公告)号：CN100368795C
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200410065842.1
申请日：2004-12-22
Applicant: 东南大学
Abstract: 测量多晶硅薄膜热膨胀系数的测量结构及其测量方法是基于表面加工工艺的多晶硅薄膜热膨胀系数的在线检测结构，该结构由一个多晶硅双直梁结构以及两个多晶硅弯梁结构构成，在直梁的中间部分镀有铝膜，多晶硅弯梁结构由两个相同的弯梁组成，弯梁中间的顶端设有尖端，其尖端对着铝膜；测量方法为：制备测量梁结构；在室温时对直梁分别通入一微小电流I1和I0，测量其两端的电压V1和V0，得出电阻率ρ1和ρ0；选择两弯梁结构组中的任一个弯梁，总长为L2，对其通入电流I2，测量其两端的电压V2，测量出电阻率ρ2，对弯梁的两端分别通入缓慢增加的电流，观察连接弯梁与直梁锚区的欧姆表的读数是否有一个从无穷大到有限值的跳变；就可以得出热膨胀系数α。
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公开(公告)号：CN1621821A
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN200410065842.1
申请日：2004-12-22
Applicant: 东南大学
Abstract: 测量多晶硅薄膜热膨胀系数的测量结构及其测量方法是基于表面加工工艺的多晶硅薄膜热膨胀系数的在线检测结构，该结构由一个多晶硅双直梁结构以及两个多晶硅弯梁结构构成，在直梁的中间部分镀有铝膜，多晶硅弯梁结构由两个相同的弯梁组成，弯梁中间的顶端设有尖端，其尖端对着铝膜；测量方法为：制备测量梁结构；在室温时对直梁分别通入一微小电流I1和I0，测量其两端的电压V1和V0，得出电阻率ρ1和ρ0；选择两弯梁结构组中的任一个弯梁，总长为L2，对其通入电流I2，测量其两端的电压V2，测量出电阻率ρ2，对弯梁的两端分别通入缓慢增加的电流，观察连接弯梁与直梁锚区的欧姆表的读数是否有一个从无穷大到有限值的跳变；就可以得出热膨胀系数α。
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