公开(公告)号：CN116083145A

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN202310011166.2

申请日：2023-01-05

Applicant: 东南大学

Inventor： 张一卫 ,  朱陈子 ,  刘尚进 ,  杨成函 ,  周钰明 ,  黄金强 ,  杨定勇

IPC: C10M169/04 ,  C10N30/04 ,  C10N30/12 ,  C10N30/18 ,  C10N30/10 ,  C10N30/00 ,  C10N30/06

Abstract: 本发明公开了一种可消减静电团聚作用的切割液及应用，该切割液按照总质量份数100份计包含以下组分：渗透剂60‑70份；分散剂10‑15份；消泡剂2‑3份；防锈剂1‑2份；静电消除剂0.1‑0.5份；抗氧化剂1‑2份；余量为水；所述静电消除剂为具有壳核结构的纳米复合金属氧化物。本发明的新型切割液具有渗透性强，润滑性好，防锈防腐，分散效果好等特点，并且，切割液中静电消除剂可有效消除切割过程中产生的静电，从而避免硅粉静电团聚效应，增强硅粉分散及清洗效果；该切割液特别适用于大尺寸、薄片化硅片切割工艺。