公开(公告)号：CN114937048B

公开(公告)日：2024-11-05

申请号：CN202210610203.7

申请日：2022-05-31

Applicant: 东南大学

Inventor： 王学香 ,  梁江伟 ,  余为民 ,  张健 ,  曹鹏

IPC: G06T7/11 ,  G06T7/12

Abstract: 本发明公开了一种基于分簇的三重图案光刻版图分解方法，包括：多边形分割为矩形存储，根据多边形之间的距离构建冲突图；通过候选缝合边位置计算、挑选合适的缝合边以在冲突图中添加缝合边；通过独立组建计算，隐藏顶点度数小于3的顶点，桥边拆解，分簇等多种冲突图化简算法，减小版图分解问题的规模；用整数线性规划松弛而来的半定规划算法对各个子冲突图求解；对簇与簇之间的顶点进行配色调整减少缝合边的使用以及最后将所有子冲突图合并得到最终的版图分解结果。本发明通过分簇使得子冲突图的规模变得更小，从而加快算法求解速度。与此同时，本发明还通过新的适用于三重图案光刻的簇间配色调整算法实现了更高的算法求解质量。

公开(公告)号：CN114937048A

公开(公告)日：2022-08-23

申请号：CN202210610203.7

申请日：2022-05-31

Applicant: 东南大学

Inventor： 王学香 ,  梁江伟 ,  余为民 ,  张健 ,  曹鹏

IPC: G06T7/11 ,  G06T7/12

Abstract: 本发明公开了一种基于分簇的三重图案光刻版图分解方法，包括：多边形分割为矩形存储，根据多边形之间的距离构建冲突图；通过候选缝合边位置计算、挑选合适的缝合边以在冲突图中添加缝合边；通过独立组建计算，隐藏顶点度数小于3的顶点，桥边拆解，分簇等多种冲突图化简算法，减小版图分解问题的规模；用整数线性规划松弛而来的半定规划算法对各个子冲突图求解；对簇与簇之间的顶点进行配色调整减少缝合边的使用以及最后将所有子冲突图合并得到最终的版图分解结果。本发明通过分簇使得子冲突图的规模变得更小，从而加快算法求解速度。与此同时，本发明还通过新的适用于三重图案光刻的簇间配色调整算法实现了更高的算法求解质量。