公开(公告)号：CN1177818C

公开(公告)日：2004-12-01

申请号：CN00803448.6

申请日：2000-12-01

Applicant: 东洋合成工业株式会社

Inventor： 冨田恭一 ,  石井信治

IPC: C07C305/04 ,  C07C309/29 ,  C07C309/30 ,  C07C309/33 ,  C07C309/39 ,  C07C309/04 ,  C07C309/06 ,  C07C309/25 ,  C07C25/18 ,  C07C381/12 ,  C07F9/09

Abstract: 本发明提供了一种高产率地生产鎓盐衍生物的方法，该衍生物可用作在化学放大抗蚀剂中使用的试剂如酸产生剂；并提供了新的鎓盐衍生物。包含卤素阴离子或羧酸根阴离子的鎓盐衍生物与磺酸酯衍生物或磷酸酯衍生物的反应以高产率得到硫酸鎓盐衍生物或磷酸鎓盐衍生物。

公开(公告)号：CN1339024A

公开(公告)日：2002-03-06

申请号：CN00803448.6

申请日：2000-12-01

Applicant: 东洋合成工业株式会社

Inventor： 冨田恭一 ,  石井信治

IPC: C07C305/04 ,  C07C309/29 ,  C07C309/30 ,  C07C309/33 ,  C07C309/39 ,  C07C309/04 ,  C07C309/06 ,  C07C309/25 ,  C07C25/18 ,  C07C381/12 ,  C07F9/09

Abstract: 本发明提供了一种高产率地生产鎓盐衍生物的方法,该衍生物可用作在化学放大抗蚀剂中使用的试剂如酸产生剂;并提供了新的鎓盐衍生物。包含卤素阴离子或羧酸根阴离子的鎓盐衍生物与磺酸酯衍生物或磷酸酯衍生物的反应以高产率得到硫酸鎓盐衍生物或磷酸鎓盐衍生物。