光调制器用接合体、光调制器及光调制器用接合体的制造方法

    公开(公告)号:CN112612149B

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202011031274.9

    申请日:2020-09-27

    Abstract: 本发明涉及一种光调制器用接合体、光调制器及光调制器用接合体的制造方法。在将由铌酸锂等形成的光波导用材料与支撑基板接合而成的光调制器用接合体及光调制器中,抑制光波导用材料因退火处理而开裂,并且,改善光调制器对频率的光响应特性。光调制器用接合体(6)具备支撑基板(4);光波导用材料(7),其由选自由铌酸锂、钽酸锂及铌酸锂-钽酸锂构成的组中的材质形成,并设置于支撑基板(4)上;以及光波导(8),其存在于光波导材料(7)。支撑基板(4)由选自由氧化镁及镁-硅复合氧化物构成的组中的材质形成。

    陶瓷多孔膜和陶瓷过滤器

    公开(公告)号:CN101528328B

    公开(公告)日:2012-01-11

    申请号:CN200780038784.5

    申请日:2007-10-18

    Abstract: 本发明公开一种陶瓷多孔膜和一种陶瓷过滤器,所述陶瓷多孔膜以较少膜形成次数形成且具有较少的缺陷、小且一致的厚度和高的流量。硅质膜(1)形成在二氧化钛UF膜(14)上,二氧化钛UF膜(14)作为超滤膜(UF膜)形成在多孔基件(11)上,多孔基件(11)是微滤膜(也称为MF膜),二氧化钛UF膜(14)的平均孔径小于多孔基件(11)的平均孔径,且硅质膜(1)的平均孔径小于二氧化钛UF膜(14)的平均孔径,硅质膜(1)基本上没有渗透到二氧化钛UF膜中。

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