-
公开(公告)号:CN116752097A
公开(公告)日:2023-09-15
申请号:CN202310732260.7
申请日:2023-06-19
申请人: 东莞市广正模具塑胶有限公司
摘要: 本发明提供了卧式双蒸发光学镀工艺及设备,工艺步骤如下:将蒸发架拉出至镀膜室外,并将两种靶材分别放置在第一蒸发仓和第二蒸发仓内;结构件固定在蒸发架上,并推回镀膜室内;对镀膜室抽真空;两种靶材进行轮流加热蒸发,使两种靶材有序附着至结构件表面;停止加热靶材,恢复镀膜室的压强和温度;取下结构件。通过将两种靶材分别放置在并列设置的2个蒸发仓内,将两种靶材同时加热至对应的蒸发临界值温度,并根据膜层位置需求加热其一靶材进行镀膜,该靶材成功镀膜后降低靶材温度至临界值温度,然后加热另一靶材进行镀膜,成功镀膜后降低靶材温度值临界值温度。通过重复操作,可以进行快速镀膜,提高生产效率。
-