一种光阻剂自动回温摇晃机

    公开(公告)号:CN212758371U

    公开(公告)日:2021-03-23

    申请号:CN202021306733.5

    申请日:2020-07-07

    IPC分类号: B01F11/00 B01F13/10 B01F15/00

    摘要: 本实用新型公开了一种光阻剂自动回温摇晃机,包括机箱主体、电控箱、驱动电机、传动部件、转轴、轴承座和固定支架,电控箱置于机箱主体的机壳表面,驱动电机、传动部件、转轴、轴承座和固定支架置于机箱主体内部,电控箱与驱动电机电连接,传动部件两端连接驱动电机和转轴;2个轴承座固定在机体框架上,轴承座内设有轴承,转轴限位在2个轴承座的轴承中,转轴的一端或两端连接固定支架,固定支架上设有桶体安装槽,桶体安装槽中置入有光阻剂桶。本实用新型的有益效果是:光阻剂自动回温摇晃机替代人工摇晃,可同时对两个光阻剂桶的光阻剂进行回温摇晃,回温摇匀后的光阻剂在使用时有效节约其使用剂量。

    一种旋转曝光治具
    2.
    实用新型

    公开(公告)号:CN212586693U

    公开(公告)日:2021-02-23

    申请号:CN202021213473.7

    申请日:2020-06-28

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 本实用新型公开了一种旋转曝光治具,包括载盘、垂直支座和底座,垂直支座下端连接底座,载盘下端设有连接块,垂直支座上端与连接块用一销钉连接,载盘通过连接块绕销钉轴心旋转。本实用新型的有益效果是:旋转曝光治具的使用,通过旋转、倾斜的方式降低了产品角度,解决了光束折射现象,极大的减少残留、过显、锯齿等不良。