公开(公告)号：CN101829848B

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201010107524.2

申请日：2010-01-29

申请人： 东莞晨真光伏有限公司

发明人： 杨明生 ,  蓝劾 ,  覃海

IPC分类号： B23K26/16 ,  B23K26/42

CPC分类号： B23K26/127 ,  B08B15/023 ,  B08B2215/003 ,  B23K26/12 ,  B23K26/142 ,  B23K2101/007 ,  B41M5/24 ,  B41M5/26

摘要： 本发明公开一种激光刻线除尘设备，包括加工单元、吸尘装置、第一过滤单元、高压抽风机及若干个静电除尘棒，所述加工单元包括内腔及工作台，所述工作台置于所述内腔内，所述吸尘装置具有吸尘口及出尘口，所述吸尘口位于所述工作台的正下方，所述吸尘装置的出尘口与所述第一过滤单元的上端相连通，所述第一过滤单元的下端与所述高压抽风机的抽风口相连通，所述第一过滤单元的上端与下端之间设置有第一过滤网芯，所述高压抽风机的出风口与所述内腔相连通，所述静电除尘棒均匀排列的设置于所述激光发生器上。本发明激光刻线除尘设备除尘效率高、噪声低且能耗少。本发明还公开了一种激光刻线除尘方法。

公开(公告)号：CN101759017B

公开(公告)日：2011-12-14

申请号：CN200910217333.9

申请日：2009-12-31

申请人： 东莞晨真光伏有限公司

发明人： 杨明生 ,  范振华 ,  覃海 ,  蓝劾

IPC分类号： B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  B65G35/00

摘要： 本发明公开了一种气浮式基板传动机构，包括气爪和气浮载台，所述气爪用于将基板夹持并固定于所述气浮载台上，所述气浮载台包括气板，所述气板上具有与充气系统相连的若干个喷气孔，且所述气板上表面的喷气量从所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大。本发明气浮式基板传动机构的气板上表面边缘的喷气量大于气板中心的喷气量，解决了基板输送时气体容易集中到基板下部中心位置导致基板变形的问题，使基板始终处于平整的悬浮状态；另，本发明气浮式基板传动机构采用非接触式输送方式，具有无噪音、无污染、免维修、输送效率高的优点。