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发明公开
一种光刻机用混合光源发生装置有权

公开(公告)号：CN112379576A

公开(公告)日：2021-02-19

申请号：CN202011363096.X

申请日：2020-11-28

申请人： 东莞科视自动化科技有限公司

发明人： 王华 , 吴中海 , 甘泉

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 本发明公开了一种光刻机用混合光源发生装置，包括激光源、LED光源组件、激光限位板、光源基座和底座，所述激光限位板、光源基座和底座从上到下顺序排列；所述光源基座的中心设有激光源安装位，所述光源基座上还设有围绕所述激光源安装位分布的LED光源安装位，所述激光源的一端贯穿所述激光限位板，另一端安装在所述激光源安装位上；所述LED光源组件安装在所述LED光源安装位上；所述底座与光源基座连接形成一空腔，所述底座上设有出光口；其中，所述激光源与所述出光口位于同一轴线上。本发明中，激光源作为主光源，LED光源作为辅助光源，当激光源的能量因衰减而达不到预期能量时，LED光源对其进行补偿，有效地提高了光刻机的使用寿命。