公开(公告)号：CN1276476C

公开(公告)日：2006-09-20

申请号：CN03103319.9

申请日：2003-01-22

Applicant: 东邦化成株式会社

Inventor： 竹村祯男 ,  松田进 ,  水江宏明

IPC: H01L21/304 ,  F26B7/00 ,  B01D12/00

CPC classification number: H01L21/02052 ,  H01L21/67034 ,  Y10S134/902

Abstract: 一种基板干燥方法和装置，收容纯水的干燥室配置在处理室内部，使浸入到干燥室的纯水内的基板从纯水内露出并对其进行干燥；向处理室内的纯水的液面上方的空间内，供给空气或惰性气体、以及气态或液滴状的异丙醇；在干燥室内，使以其整个周部与该干燥室的整个内周部接近的方式配置并且可沿该干燥室的内周部升降的可动台板相对于该干燥室上升，由此，使基板被浸入其中的纯水边与基板一起上升、边从纯水的液面或液面附近向干燥室的外部排出液面侧纯水，在处理室内，使基板从上述纯水中露出到液面的上方，与此同时，附着在露出的基板的表面上的纯水，通过气态或液滴状的异丙醇而被置换；然后，通过从基板的表面蒸发上述异丙醇而干燥基板。

公开(公告)号：CN1434490A

公开(公告)日：2003-08-06

申请号：CN03103319.9

申请日：2003-01-22

Applicant: 东邦化成株式会社

Inventor： 竹村祯男 ,  松田进 ,  水江宏明

IPC: H01L21/304 ,  F26B7/00 ,  B01D12/00

CPC classification number: H01L21/02052 ,  H01L21/67034 ,  Y10S134/902

Abstract: 一种基板干燥方法和装置，在基板从纯水中露出时，能够减少向上述基板的表面的异物附着量，并且能够提高基板的干燥效率和消除干燥斑纹。向干燥室内的上述纯水液面上部的空间内，供给空气或惰性气体、以及气态或液滴状的异丙醇(以下称为IPA)，使浸入上述基板的上述纯水边与上述基板一起上升、边从上述纯水的液面或液面附近排出液面侧纯水，在上述干燥室内使上述基板从上述纯水中露出到上述液面的上方，与此同时，使附着在上述露出的基板的表面上的上述纯水与上述IPA进行置换，对上述基板进行干燥。