公开(公告)号：CN114351118A

公开(公告)日：2022-04-15

申请号：CN202011091265.9

申请日：2020-10-13

申请人： 东部超导科技(苏州)有限公司

发明人： 熊旭明 ,  王延凯 ,  田卡 ,  蔡渊 ,  袁文 ,  迮建军

IPC分类号： C23C16/455 ,  C23C16/40

摘要： 本申请涉及一种MOCVD反应系统以及采用MOCVD技术制备REBCO高温超导带材的方法，其中MOCVD反应系统包括：MOCVD反应腔，布置于MOCVD反应腔内的加热基板，设于所述加热基板上方的气体分配器；所述气体分配器包括其上竖向贯通开设多个射流孔的射流板，每个所述射流孔与所述MOCVD反应腔直接连通。本申请的技术方案能够在提高沉积速率的同时，改善沉积速率的均匀性。

公开(公告)号：CN214793495U

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202120795503.8

申请日：2021-04-19

申请人： 东部超导科技(苏州)有限公司

发明人： 章鹏 ,  张爱兵 ,  王延凯 ,  蔡渊 ,  袁文

IPC分类号： G01J5/00

摘要： 本实用新型公开了一种MOCVD法制备高温超导带材的在线温度监测系统，其涉及高温超导带材制备技术领域。其技术方案要点包括设备主体，设备主体上设置有法兰接口；设置于法兰接口上的透光板；设置于设备主体内壁的挡板，挡板上设置有透光口，且所述透光板、法兰接口以及挡板之间形成透光腔室；吹气组件，使所述透光腔室内保持正压；设置于所述设备主体外部的红外测温组件，所述红外测温组件包括红外测温仪探头；以及，设置于所述设备主体内部的喷淋器，所述喷淋器上开设有通孔；其中，所述红外测温仪探头与所述透光板、透光口以及通孔相对。本实用新型可以无需考虑严苛的测量环境，而且安装简易、成本低廉，且能够保证测温的准确性。