公开(公告)号：CN1938452A

公开(公告)日：2007-03-28

申请号：CN200580009728.X

申请日：2005-03-18

Applicant: 东陶机器株式会社

Inventor： 岩泽顺一 ,  鸠野广典 ,  芦泽宏明

IPC: C23C24/04 ,  C04B41/87

CPC classification number: C23C24/04 ,  Y10T428/25 ,  Y10T428/252 ,  Y10T428/2982

Abstract: 本发明公开了一种使用气溶胶制造被膜的方法，该方法可以以极高的制膜速度形成膜质良好的被膜。在该方法中，首先将载气混合到以脆性材料作为主要成分构成的、以微粒个数为基准的50％平均粒径(D50)为100～300nm的微粒中，形成气溶胶。然后，将该气溶胶喷射到基材的表面使微粒与上述基材碰撞，通过该碰撞使微粒粉碎或变形，从而在基材上形成被膜。

公开(公告)号：CN1938451A

公开(公告)日：2007-03-28

申请号：CN200580009712.9

申请日：2005-03-18

Applicant: 东陶机器株式会社

Inventor： 岩泽顺一 ,  鸠野广典 ,  芦泽宏明 ,  伊藤朋和 ,  宫原香绪里

IPC: C23C24/04 ,  C04B41/87

Abstract: 本发明公开了一种使用气溶胶制造被膜的方法，该方法可以以极高的制膜速度形成膜质良好的被膜。在该方法中，首先将载气与粒子混合物混合，形成气溶胶，该粒子混合物包含原料微粒和辅助粒子，所述原料微粒以脆性材料作为主要成分，并且以体积为基准的50％平均粒径(D50)是0.010～1.0μm，所述辅助粒子以与该原料微粒中的脆性材料同种类或不同种类的脆性材料作为主要成分，并且以体积为基准的50％平均粒径(D50)是3.0～100μm。然后，将该气溶胶喷射到基材的表面使粒子混合物与基材碰撞，通过该碰撞使原料微粒粉碎或变形，从而在基材上形成被膜。