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公开(公告)号：CN111333022A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN202010188599.1
申请日：2020-03-17
申请人： 中北大学
摘要： 本申请公开了一种高密度MEMS微纳线圈柔性异质集成方法，包括：准备刚性基底并清洗；在刚性基底上生长剥离层；在剥离层上沉积多层MEMS微纳线圈，相邻层的MEMS微纳线圈之间沉积薄膜隔离层，将多层MEMS微纳线圈互连，并在最顶层沉积薄膜绝缘层；在薄膜绝缘层上沉积薄膜种子层，再电镀金属应力层；调节金属应力层的厚度，将MEMS微纳线圈剥离；将MEMS微纳线圈与柔性基底进行集成；依次将金属应力层、薄膜种子层去除；在薄膜绝缘层上开孔；将多层MEMS微纳线圈进行互连并折叠。本申请通过可控剥离方法将刚性基底上多层互连的MEMS微纳线圈转移至柔性基底上，并通过柔性基底折叠形成多层堆叠结构，大幅提升线圈匝数，解决狭小空间下MEMS电磁能量采集器的低输出电压难题。
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公开(公告)号：CN111333022B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202010188599.1
申请日：2020-03-17
申请人： 中北大学
摘要： 本申请公开了一种高密度MEMS微纳线圈柔性异质集成方法，包括：准备刚性基底并清洗；在刚性基底上生长剥离层；在剥离层上沉积多层MEMS微纳线圈，相邻层的MEMS微纳线圈之间沉积薄膜隔离层，将多层MEMS微纳线圈互连，并在最顶层沉积薄膜绝缘层；在薄膜绝缘层上沉积薄膜种子层，再电镀金属应力层；调节金属应力层的厚度，将MEMS微纳线圈剥离；将MEMS微纳线圈与柔性基底进行集成；依次将金属应力层、薄膜种子层去除；在薄膜绝缘层上开孔；将多层MEMS微纳线圈进行互连并折叠。本申请通过可控剥离方法将刚性基底上多层互连的MEMS微纳线圈转移至柔性基底上，并通过柔性基底折叠形成多层堆叠结构，大幅提升线圈匝数，解决狭小空间下MEMS电磁能量采集器的低输出电压难题。
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公开(公告)号：CN112985387B
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202110139875.X
申请日：2021-02-01
申请人： 中北大学
摘要： 本发明涉及滑雪运动检测方法及系统，具体为一种GNSS与IMU的时间同步方法以及滑雪同步检测系统，解决了背景技术中的技术问题。所述方法基于互相关分析、零态检测、零速修正算法以及去趋势运算，实现了独立的IMU与GNSS的自动时间对齐；本发明基于所述时间同步方法搭建了搭载有臂/腿部传感单元、腰背部传感单元、两个雪板传感单元和无人机的滑雪同步检测系统，其包括五个数据源，数据同步部分对五个数据源进行处理实现时间同步，有助于进行准确的后处理分析、展示反馈，该系统能在不影响滑雪者动作的条件下实现滑雪者全程视频和运动学、生理参数的监测，帮助滑雪者和教练更好地了解运动学和生理参数对滑雪运动表现的影响，达到改进滑雪技术的目的。
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公开(公告)号：CN112985387A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110139875.X
申请日：2021-02-01
申请人： 中北大学
摘要： 本发明涉及滑雪运动检测方法及系统，具体为一种GNSS与IMU的时间同步方法以及滑雪同步检测系统，解决了背景技术中的技术问题。所述方法基于互相关分析、零态检测、零速修正算法以及去趋势运算，实现了独立的IMU与GNSS的自动时间对齐；本发明基于所述时间同步方法搭建了搭载有臂/腿部传感单元、腰背部传感单元、两个雪板传感单元和无人机的滑雪同步检测系统，其包括五个数据源，数据同步部分对五个数据源进行处理实现时间同步，有助于进行准确的后处理分析、展示反馈，该系统能在不影响滑雪者动作的条件下实现滑雪者全程视频和运动学、生理参数的监测，帮助滑雪者和教练更好地了解运动学和生理参数对滑雪运动表现的影响，达到改进滑雪技术的目的。
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