公开(公告)号：CN100498343C

公开(公告)日：2009-06-10

申请号：CN200710062298.9

申请日：2007-07-12

Applicant: 中北大学

Inventor： 李锦明 ,  郭慧芳 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  周兆英 ,  杨兴

IPC: G01P15/097

Abstract: 本发明为电调谐谐振式差频加速度计，主要包含了由半导体衬底、外部柔性杆、外部框架、两级柔性杆、两级内部框架等构成的三级独立的自振荡装置；差频电调谐谐振式加速度计，当带有电调谐电压的外部框架受到向上的加速度后，电调谐梳齿对对应的面积增大，引起电调谐系数的增加，从而导致内部一级内部框架的输出频率减小；同理，二级内部框架的输出频率增大；因此，整个结构的输出频率发生变化。当外部框架受到向下的加速度后，情况相反。调频信号只与频率有关，与信号的幅值无关，具有较强的抗干扰能力，检测灵敏度高和精度高，输出数字信号可直接与数字处理器相连接。

公开(公告)号：CN101089624A

公开(公告)日：2007-12-19

申请号：CN200710062298.9

申请日：2007-07-12

Applicant: 中北大学

Inventor： 李锦明 ,  郭慧芳 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  周兆英 ,  杨兴

IPC: G01P15/097

Abstract: 本发明为电调谐谐振式差频加速度计，主要包含了由半导体衬底、外部柔性杆、外部框架、两级柔性杆、两级内部框架等构成的三级独立的自振荡装置；差频电调谐谐振式加速度计，当带有电调谐电压的外部框架受到向上的加速度后，电调谐梳齿对对应的面积增大，引起电调谐系数的增加，从而导致内部一级内部框架的输出频率减小；同理，二级内部框架的输出频率增大；因此，整个结构的输出频率发生变化。当外部框架受到向下的加速度后，情况相反。调频信号只与频率有关，与信号的幅值无关，具有较强的抗干扰能力，检测灵敏度高和精度高，输出数字信号可直接与数字处理器相连接。