公开(公告)号：CN118858692B

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202411347071.9

申请日：2024-09-26

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘文耀 ,  杨泽宇 ,  王晓慧 ,  邢恩博 ,  刘来 ,  周彦汝 ,  唐军 ,  刘俊

IPC: G01P15/093 ,  G01P15/08

Abstract: 本发明涉及光栅干涉式加速度传感器技术领域，具体是一种基于准BIC超表面的高灵敏度加速度传感器及测量方法。本发明解决了现有光栅干涉式加速度传感器灵敏度较低、欧姆损耗较大的问题。一种基于准BIC超表面的高灵敏度加速度传感器，包括激光器、掺铒光纤放大器、功率分离器、第一声光调制器、第一电光调制器、第二声光调制器、第二电光调制器、光环行器、封装盒、平衡光电探测器、数字仪；封装盒的顶壁贯通开设有透光微孔；封装盒的内腔封装有敏感单元；所述敏感单元包括两个硅支撑块、硅质量块、反射镜、两组氮化硅悬臂梁、硅基底、准BIC超表面结构、超表面增透膜。本发明适用于加速度信号的测量。

公开(公告)号：CN118858692A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202411347071.9

申请日：2024-09-26

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘文耀 ,  杨泽宇 ,  王晓慧 ,  邢恩博 ,  刘来 ,  周彦汝 ,  唐军 ,  刘俊

IPC: G01P15/093 ,  G01P15/08

Abstract: 本发明涉及光栅干涉式加速度传感器技术领域，具体是一种基于准BIC超表面的高灵敏度加速度传感器及测量方法。本发明解决了现有光栅干涉式加速度传感器灵敏度较低、欧姆损耗较大的问题。一种基于准BIC超表面的高灵敏度加速度传感器，包括激光器、掺铒光纤放大器、功率分离器、第一声光调制器、第一电光调制器、第二声光调制器、第二电光调制器、光环行器、封装盒、平衡光电探测器、数字仪；封装盒的顶壁贯通开设有透光微孔；封装盒的内腔封装有敏感单元；所述敏感单元包括两个硅支撑块、硅质量块、反射镜、两组氮化硅悬臂梁、硅基底、准BIC超表面结构、超表面增透膜。本发明适用于加速度信号的测量。

公开(公告)号：CN119199180A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202411369929.1

申请日：2024-09-29

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘文耀 ,  邢恩博 ,  刘来 ,  周彦汝 ,  唐军 ,  刘俊 ,  杨泽宇

IPC: G01P15/093

Abstract: 本发明涉及光栅干涉式加速度传感器技术领域，具体是一种基于准BIC超表面的高分辨率加速度传感器及测量方法。本发明解决了现有光栅干涉式加速度传感器分辨率较低、欧姆损耗较大的问题。一种基于准BIC超表面的高分辨率加速度传感器，包括激光器、分束器、声光调制器、电光调制器、光环行器、封装盒、平衡光电探测器、放大器、数字仪；封装盒的顶壁贯通开设有透光微孔；封装盒的内腔封装有敏感单元；所述敏感单元包括两个硅支撑块、硅质量块、分布式布拉格反射器、四列氮化硅悬臂梁、透明基板、准BIC超表面结构。本发明适用于加速度信号的测量。