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公开(公告)号：CN116148499A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202310422641.5
申请日：2023-04-20
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，具体为一种力反馈高灵敏MOEMS集成加速度传感器，解决了其对低刚度、抗横向干扰机械敏感结构和高性能力反馈方式的需求，包括外部壳体、电磁反馈部分、机械敏感结构和光学检测模块，电磁反馈部分包括永磁铁和圆形线圈，机械敏感结构包括质量块和悬臂梁，光学检测模块包括反射薄膜、光栅、玻璃平面、光电探测器、激光器和基底。本发明通过低刚度机械敏感结构与光学检测技术结合，提高了加速度传感器灵敏度，旋转对称放置的悬臂梁减小横向灵敏度，设计的线圈和永磁铁可以提供较大的电磁力，反馈电磁力与输入电流呈线性关系，使质量块维持在原始位置，该传感器稳定性好、抗电磁干扰，可对加速度信号进行高精度检测。
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公开(公告)号：CN116788499A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310272914.2
申请日：2023-03-21
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种基于蠕动电极的MEMS气动控制微系统，涉及微型飞行器控制领域。该系统包括致动器、传递器、控制面及反馈器，致动器主要包括蠕动电极、驱动臂和位移梭结构；传递器包括传递梁、旋转槽和杠杆结构；控制面包括固定卡槽和垂直机翼，通过对垂直机翼的偏转角度的调节来完成对飞行器轨迹的调控；反馈器包括偏转梁、扩散电阻和固定锚点，采用微小应力变化敏感的特点来实现对复杂的气动升力的测量。本发明使用蠕动电极结构作为致动器的动力产生部分，借助其可积累力和位移的特点，实现了高的气动升力的产生，同时减小了系统的整体面积。借助压阻式传感器进行反馈调节，减少了复杂的气动升力的测量过程，同时也为系统的自调节提供了帮助。
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