公开(公告)号：CN101073851A

公开(公告)日：2007-11-21

申请号：CN200610031670.5

申请日：2006-05-18

Applicant: 中南大学

Inventor： 王福亮 ,  韩雷 ,  钟掘 ,  广明安

IPC: B23K20/10 ,  B29C65/08 ,  H01L21/607

CPC classification number: H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 热超声倒装键合机换能器监测和分析系统，包括超声信号发出器，换能器系统，本发明在超声信号器和换能器之间接入电流传感器和电压传感器，将换能器系统的驱动电流和电压信号提取出来，再将电流、电压信号经数据采集系统进入计算机，计算输入功率和输出阻抗的有效值，再根据有效值曲线计算得到键合过程中换能器系统的平均输入功率，得到键合强度与输入功率之间的关系，实现热超声倒装键合强度的在线监测。换能器系统功率信号容易获得和实现，可定量反映键合强度，实现强度的在线监测，并不影响换能器系统的性能。

公开(公告)号：CN101075569A

公开(公告)日：2007-11-21

申请号：CN200610031671.X

申请日：2006-05-18

Applicant: 中南大学

Inventor： 王福亮 ,  韩雷 ,  钟掘 ,  广明安

IPC: H01L21/607 ,  H01L21/60 ,  B23K20/10

CPC classification number: H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种键合参数加载方法，本发明通过监测换能器驱动电流和电压信号，获得换能器的功率信号，再根据统计的功率信号曲线，确定改变键合参数的临界点Tcritical，在临界点Tcritical以前的键合I阶段输入小超声功率、大键合压力；在临界点Tcritical以后的键合II阶段输入大超声功率、小键合压力。这种通过改变键合参数加载过程，提高了键合强度和可靠性，使得能量的输入符合键合界面的实际消耗规律。