公开(公告)号：CN116447967A

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN202310425628.5

申请日：2023-04-20

申请人： 中南大学

发明人： 刘林鹏 ,  王景祥 ,  丁铠文 ,  曹培林 ,  全嘉民 ,  蔡育阳 ,  王聪 ,  段吉安

IPC分类号： G01B7/16 ,  B05D7/24 ,  B05D5/12 ,  B05D7/00 ,  C23C28/00

摘要： 本发明公开了一种高灵敏与高线性协同的仿生柔性应变传感器及其制造方法，所述应变传感器从下往上依次为柔性基体、导电功能层以及电极；所述柔性基体近所述导电功能层的一表面分布有褶皱结构；所述导电功能层由多层不同材料层堆栈形成。本发明采用模板法制备具有褶皱结构的柔性基体。当仿生柔性传感器受到外部应力或者应变时，传感器本身表面褶皱结构的尺寸和形状发生了改变，这种微形变会产生微裂纹，导致传感本身电学性能的变化。微裂纹和褶皱结构的组合为具有大应变拉伸能力的仿生传感器带来了高灵敏度和高线性特征。本发明的传感器具有高灵敏、高线性以及大应变特性。