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公开(公告)号:CN106370891A
公开(公告)日:2017-02-01
申请号:CN201610937534.6
申请日:2016-10-24
申请人: 中南大学
IPC分类号: G01Q60/16
CPC分类号: G01Q60/16
摘要: 本发明提供了扫描隧道显微镜扫描探针的制备方法及控制电路,方法包括步骤:对探针进行去氧化膜的处理:在直径为0.5mm的探针底部套上胶圈,胶圈底部距离探针底部2mm;将金属丝圈放入2~3mol/L的KOH溶液中,探针底部插入液面的深度1mm;探针为阳极,金属丝圈为阴极,两端加5~12V的电压;当阳极上的第一电压与控制电路的固定电阻上的第二电压相等时,控制电路切断电路,使得探针底部形成针尖;控制电路包括与单片机串联的继电器、固定电阻和使用电解液连接的阴阳极。本申请利用橡皮圈控制纵横比和加大重力,用控制电路自动切断电源并实时检测电压,使得一步腐蚀法可制得纵横比合适、扫描图样清晰的理想探针针尖。
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公开(公告)号:CN106370891B
公开(公告)日:2023-09-15
申请号:CN201610937534.6
申请日:2016-10-24
申请人: 中南大学
IPC分类号: G01Q60/16
摘要: 本发明提供了扫描隧道显微镜扫描探针的制备方法及控制电路,方法包括步骤:对探针进行去氧化膜的处理:在直径为0.5mm的探针底部套上胶圈,胶圈底部距离探针底部2mm;将金属丝圈放入2~3mol/L的KOH溶液中,探针底部插入液面的深度1mm;探针为阳极,金属丝圈为阴极,两端加5~12V的电压;当阳极上的第一电压与控制电路的固定电阻上的第二电压相等时,控制电路切断电路,使得探针底部形成针尖;控制电路包括与单片机串联的继电器、固定电阻和使用电解液连接的阴阳极。本申请利用橡皮圈控制纵横比和加大重力,用控制电路自动切断电源并实时检测电压,使得一步腐蚀法可制得纵横比合适、扫描图样清晰的理想探针针尖。
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