一种基于深度强化学习的单晶炉智能控制方法及装置

    公开(公告)号:CN115220341A

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202210790129.1

    申请日:2022-07-06

    IPC分类号: G05B13/04 G06N3/04 G06N3/08

    摘要: 本发明公开一种基于深度强化学习的单晶炉智能控制方法及装置,该方法包括:步骤1,构建深度强化学习网络;步骤2,将单晶炉各种状态信息和状态下动作的量化奖励输入构建的深度强化学习网络中,训练深度强化学习模型;步骤3,向训练好的深度强化学习模型中输入实时采集的单晶炉内部生产状态图像,获得最优设备控制动作;步骤4,根据最优设备控制动作智能控制单晶炉生产。本发明通过使用强化学习的方法,将单晶硅的一个生产流程看做一次强化学习决策,将单晶硅的生产质量作为决策奖励,把单晶炉内的视觉图像作为状态,训练出不同状态下的最优单晶炉控制动作,可以大大降低单晶硅生产的人力成本,减小经验误差。