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公开(公告)号:CN219625393U
公开(公告)日:2023-09-01
申请号:CN202320254727.7
申请日:2023-02-13
IPC分类号: G01N21/958 , G01N21/21
摘要: 本申请提供了一种检测装置,该检测装置包括:偏振模块220与成像模块230。偏振模块220设置于成像模块230之前,待测样品240设置于偏振模块220之前。成像模块230根据通过偏振模块220后的光束210b以及光束210c分别生成光源210的主像与副像。其中,光束210b是光源210发出的光束210a通过待测样品240的透射后得到的,光束210c是光源210发出的光束210a通过待测样品240的透射与反射后得到的。通过在待测样品与成像模块之间引入偏振模块,可以对通过成像模块之前的光束进行偏振,可以支持在更大幅度内灵活调整副像与主像之间的光功率比。