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公开(公告)号：CN102323170B
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201110161565.4
申请日：2011-06-16
申请人： 中国地质大学(北京) , 兰州微纳仪器科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种超硬金刚石薄膜力学性能的测试方法，所述测试方法为采用微米压痕法测量金刚石薄膜的硬度和弹性模量；利用自动加载机构对金刚石薄膜连续施加数N至上千N范围的载荷，通过人造金刚石压头将连续载荷施加至金刚石薄膜表面，压入深度控制在1/10-1/15膜厚范围内，通过位移传感器和计算机处理得到材料的载荷-深度曲线，再按设定的卸载速率得到卸载时的载荷-深度曲线，将两组数据经过计算得到材料的弹性模量及硬度。本发明采用微米压痕法测量金刚石薄膜的硬度和弹性模量；利用廉价的金刚石压头代替昂贵的镀金刚石膜压针，降低了实验的成本，减少了实验误差，并能满足对厚金刚石膜的硬度、弹性模量及膜基结合力的测量要求。
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公开(公告)号：CN102809514B
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201210232088.0
申请日：2012-07-06
申请人： 中国地质大学(北京)
IPC分类号： G01N3/28
摘要： 本发明公开了一种类金刚石薄膜韧性的表征方法，所述方法为结合利用划痕试验和冲击试验系统表征薄膜韧性。利用多离子束辅助沉积技术在金属基材表面制备出一种含金属的DLC薄膜，在DLC薄膜中掺杂非碳化物形成金属例如Ag（银）改善薄膜韧性，实验结果表明，本发明结合利用划痕试验（划痕韧性）和冲击试验（冲击韧性）能够表征薄膜韧性，可以实现发明目的。
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公开(公告)号：CN102809514A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201210232088.0
申请日：2012-07-06
申请人： 中国地质大学(北京)
IPC分类号： G01N3/28
摘要： 本发明公开了一种类金刚石薄膜韧性的表征方法，所述方法为结合利用划痕试验和冲击试验系统表征薄膜韧性。利用多离子束辅助沉积技术在金属基材表面制备出一种含金属的DLC薄膜，在DLC薄膜中掺杂非碳化物形成金属例如Ag（银）改善薄膜韧性，实验结果表明，本发明结合利用划痕试验（划痕韧性）和冲击试验（冲击韧性）能够表征薄膜韧性，可以实现发明目的。
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公开(公告)号：CN102323170A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110161565.4
申请日：2011-06-16
申请人： 中国地质大学(北京)
摘要： 本发明公开了一种超硬金刚石薄膜力学性能的测试方法，所述测试方法为采用微米压痕法测量金刚石薄膜的硬度和弹性模量；利用自动加载机构对金刚石薄膜连续施加数N至上千N范围的载荷，通过人造金刚石压头将连续载荷施加至金刚石薄膜表面，压入深度控制在1/10-1/15膜厚范围内，通过位移传感器和计算机处理得到材料的载荷-深度曲线，再按设定的卸载速率得到卸载时的载荷-深度曲线，将两组数据经过计算得到材料的弹性模量及硬度。本发明采用微米压痕法测量金刚石薄膜的硬度和弹性模量；利用廉价的金刚石压头代替昂贵的镀金刚石膜压针，降低了实验的成本，减少了实验误差，并能满足对厚金刚石膜的硬度、弹性模量及膜基结合力的测量要求。
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