一种主动冷却型一维波面校正装置

    公开(公告)号:CN103728723B

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201410003830.X

    申请日:2014-01-06

    IPC分类号: G02B26/08

    摘要: 本发明公开了一种主动冷却型一维波面校正装置,包括底座、驱动器和镜片,所述底座顶部设置有冷却腔,冷却腔一端设置进水口、另一端设置出水口;所述冷却腔的底部设置有通孔,所述驱动器设置在底座上并穿过冷却腔底部的通孔与盖在冷却腔上的镜片粘结。冷却物质从冷却板底部水嘴流入,从顶部水嘴流出,在冷却腔中冷却物质与镜片充分进行热交换,从而实现主动冷却。当哈特曼探测到条形光斑长度方向波面起伏时,给对应的驱动器通过接插件加载相应的电压或电流,驱动器带动镜面上下运动,镜片的镜面产生形变,从而实现对波面面形的一维校正。

    一种主动冷却型一维波面校正装置

    公开(公告)号:CN103728723A

    公开(公告)日:2014-04-16

    申请号:CN201410003830.X

    申请日:2014-01-06

    IPC分类号: G02B26/08

    摘要: 本发明公开了一种主动冷却型一维波面校正装置,包括底座、驱动器和镜片,所述底座顶部设置有冷却腔,冷却腔一端设置进水口、另一端设置出水口;所述冷却腔的底部设置有通孔,所述驱动器设置在底座上并穿过冷却腔底部的通孔与盖在冷却腔上的镜片粘结。冷却物质从冷却板底部水嘴流入,从顶部水嘴流出,在冷却腔中冷却物质与镜片充分进行热交换,从而实现主动冷却。当哈特曼探测到条形光斑长度方向波面起伏时,给对应的驱动器通过接插件加载相应的电压或电流,驱动器带动镜面上下运动,镜片的镜面产生形变,从而实现对波面面形的一维校正。

    一种水冷式双压电变形镜

    公开(公告)号:CN203705723U

    公开(公告)日:2014-07-09

    申请号:CN201420010286.7

    申请日:2014-01-08

    IPC分类号: G02B26/06

    摘要: 本实用新型公开了一种水冷式双压电变形镜,包括水冷式双压电变形镜主体和水冷式双压电变形镜镜架,所述的水冷式双压电变形镜主体设置于水冷式双压电变形镜镜架内,水冷式双压电变形镜包括反射镜一、反射镜二、压电晶片一、压电晶片二、电极引线、变形镜支撑件、微通道一;水冷式双压电变形镜镜架包括前盖板、后盖板和微通道二,镜架前盖板上设置的微通道二与反射镜二上的微通道一一对应,通水后,通过流水带走反射镜一外表面上的热量,即可实现变形镜的水冷功能;通过采用主动冷却控制技术,实现了强光系统中校正激光束像差的功能,该变形镜可拟合不同类型的像差,波前校正空间分辨率高,结构简单,成本低、工艺简单。