一种多探头射线方程标定装置及标定方法

    公开(公告)号:CN113175895B

    公开(公告)日:2023-05-02

    申请号:CN202110445273.7

    申请日:2021-04-23

    IPC分类号: G01B11/24

    摘要: 本发明公开了一种多探头射线方程标定装置及标定方法,该标定装置包括频域干涉测距仪、三坐标测量机、标定件、探头支架、探头和三坐标台面;该标定方法借助频域干涉测距技术(OFDI)测量待测探头到标定件之间的距离,利用三坐标测量机(CMM)获取标定件表面多点的坐标值,拟合出不同位置状态时标定件表面的数学解析式,最后结合探头射线方程,多个标定件的表面数学解析式以及探测光起点到标定件表面交点之间的距离方程,利用最小二乘法,拟合求解每个探头的射线方程参数。本发明公开的多探头射线方程标定装置标定精度较高,本发明公开的多探头射线方程标定方法标定效率高、标定精度较高,且能够保证各个探头射线方程标定结果的一致性。

    一种间隙传感器、间隙测量方法及测量装置

    公开(公告)号:CN114440781B

    公开(公告)日:2023-07-11

    申请号:CN202210073673.4

    申请日:2022-01-21

    IPC分类号: G01B11/14

    摘要: 为解决现有技术采用电容法进行间隙测量时电容极板的有效正对面积会引入一定误差以及电容测量过程容易受电磁干扰的问题,本发明实施例提供一种间隙传感器、间隙测量方法及测量装置,包括:45°反射镜,用于设于间隙的一个内壁以改变传播至45°反射镜上的光波的方向;以及光纤,光纤端面用于设于间隙的所述一个内壁;光纤端面用于使光纤中光束的一部分光反射回光纤形成参考光波,光纤端面用于使光纤中光束的另一部分光透过所述光纤端面并直线传播至45°反射镜,以使45°反射镜反射所述光束的另一部分光至间隙的另一个内壁形成用于经45°反射镜反射回所述光纤并用于与参考光波发生干涉的探测光波,以实现对间隙的一个内壁至间隙的另一个内壁的距离的测量。本发明实施例避免了采用电容法进行间隙测量时电容极板的有效正对面积会引入一定误差以及电容测量过程容易受电磁干扰的缺陷。