一种光栅掩模制备系统及方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117970549A

    公开(公告)日:2024-05-03

    申请号:CN202410365523.X

    申请日:2024-03-28

    IPC分类号: G02B5/18 G03F1/00

    摘要: 本发明提供了一种光栅掩模制备系统及方法,该系统包括:样品台、激光产生模组以及N个掩模制备模组。激光产生模组用于提供飞秒激光光束。N个掩模制备模组沿待制备光栅宽度扩展方向等间隔排布,相邻两个掩模制备模组出射的制备光束之间的间距为待制备光栅周期的整数倍,以将掩模制备区域等分为N个子区域,每个掩模制备模组分别将入射的飞秒激光光束调整为制备光束,并作用到目标基底上的相应子区域,被所涂覆的光刻胶双光子吸收,使得光刻胶聚合并固化。在此基础上,通过样品台带动目标基底沿预设轨迹移动,使得每个掩模制备模组的制备光束同时对各自对应的子区域进行扫描,形成光栅掩模图案,从而高效地实现大口径光栅掩模制备。

    基于管状激光增益介质散热的喷雾冷却系统

    公开(公告)号:CN109149326B

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN201811293703.2

    申请日:2018-10-30

    IPC分类号: H01S3/04 H01S3/042

    摘要: 本发明实施例提供的基于管状激光增益介质散热的喷雾冷却系统,属于激光技术领域,该系统包括:管状激光增益介质、内冷却装置和外冷却装置,所述内冷却装置设于所述管状激光增益介质的内表面,所述外冷却装置设于所述管状激光增益介质的外表面;所述内冷却装置用于通过产生喷雾对所述管状激光增益介质的内表面进行热交换以实现对所述管状激光增益介质进行散热;所述外冷却装置用于通过产生喷雾对所述管状激光增益介质的外表面进行热交换以实现对所述管状激光增益介质进行散热。进而有效提高了对管状激光增益介质的散热效率。

    一种复合光谱合成装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113794099A

    公开(公告)日:2021-12-14

    申请号:CN202111344062.0

    申请日:2021-11-15

    摘要: 本发明公开了一种复合光谱合成装置,所述装置包括:沿一路光传播方向依次设置的一维光纤光源阵列Ⅰ、大口径多层介质膜光栅Ⅰ、小口径多层介质膜光栅Ⅱ和合束组件,以及沿另一路光传播方向依次设置的一维光纤光源阵列Ⅱ、大口径多层介质膜光栅Ⅰ、小口径多层介质膜光栅Ⅲ和合束组件;本发明公开的复合光谱合成装置,通过共用光栅,减小小口径光栅的功率负载,减小合成系统的成本,提高共用光栅的利用率;同时,在相同合成子束数目的条件下,减小共用光栅的口径,显著降低大口径光栅的制备难度,降低合成系统的成本,并使得小口径光栅的功率负载减小一半,显著提升合成光束的光束质量。

    热致波导结构激光器及激光放大器

    公开(公告)号:CN109787076B

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN201910196090.9

    申请日:2019-03-12

    摘要: 本发明提供了一种热致波导结构激光器及激光放大器,涉及激光技术领域,热致波导结构激光器包括半导体激光器、泵浦激光器、耦合透镜组和谐振腔,谐振腔内设置有晶体光纤;半导体激光器和泵浦激光器设置在耦合透镜组的一侧,谐振腔设置在耦合透镜组的另一侧;耦合透镜组用于将半导体激光器发射的激光与泵浦激光器发射的泵浦光耦合至晶体光纤;半导体激光器用于照射晶体光纤,以使晶体光纤形成热致波导结构。这样利用晶体光纤的热光效应,通过半导体激光器照射晶体光纤使晶体光纤形成热致波导结构,实现了对晶体光纤导波模式的选择与控制;与优化谐振腔方式的激光器相比,简化了晶体光纤激光器的结构,提高了晶体光纤激光器的可靠性。

    一种紧凑化光谱合成装置

    公开(公告)号:CN116154599B

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202310438204.2

    申请日:2023-04-23

    摘要: 本发明提供一种紧凑化光谱合成装置,涉及激光技术领域。紧凑化光谱合成装置包括激光发射单元、第一双色镜和第一反射镜;第一双色镜与第一反射镜相互平行;第一双色镜背向激光发射单元的表面设有第一光学薄膜,第一光学薄膜允许激光子束自第一双色镜内部透射而出,以及反射经第一反射镜反射的激光子束,第一反射镜用于将自第一双色镜内部透射而出的激光子束反射至另一个激光子束透射而出的位置处,以使激光子束合束。通过第一双色镜和第一反射镜可以将两个及以上数量的激光子束合为一束激光,无需更多数量的光学镜片,结构更加紧凑,显著减小了光谱合成装置的体积。

    一种二维光谱合成装置
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113794100B

    公开(公告)日:2022-02-08

    申请号:CN202111344063.5

    申请日:2021-11-15

    摘要: 本发明属于激光器领域,本发明公开了一种二维光谱合成装置,该装置包括:沿光路传播方向依次设置的二维光纤光源阵列、高线密度多层介质膜光栅Ⅰ、高线密度多层介质膜光栅Ⅱ、低线密度多层介质膜光栅Ⅰ和低线密度多层介质膜光栅Ⅱ。本发明提供的二维光谱合成装置能够减小多路子光源光谱合成时对大口径、长宽比例大的光学元件的需求,减小合成装置的体积,降低合成装置的成本,实现更高功率的光谱合成输出,为光谱合成装置的广泛应用提供了可能。

    一种包层功率剥离器封装壳体

    公开(公告)号:CN112234418A

    公开(公告)日:2021-01-15

    申请号:CN202011436283.6

    申请日:2020-12-11

    IPC分类号: H01S3/067 H01S3/04

    摘要: 本发明涉及一种包层功率剥离器封装壳体,属于光纤激光器技术领域,包括壳本体及位于壳本体外侧的冷板,所述壳本体内部设有空腔,所述空腔内填充有空气,且空腔靠近冷板的腔壁作为光吸收面,且空腔远离冷板的腔壁作为光反射面,位于空腔内的裸纤剥离出杂散光,一部分杂散光直接传输至光吸收面并被吸收,另一部分杂散光经光反射面反射至光吸收面并被吸收,本发明将腔壁划分为光吸收面和光反射面,由光吸收面吸收裸纤剥离出的杂散光,同时,由于光吸收面与冷板的距离大幅缩短,热阻显著降低,有利于控制温度,提高散热效率,降低壳本体的温度,此外,通过增加光吸收面的面积,可有效提升散热面积,进一步降低壳本体的温度,结构简单,经济效益高。