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1.

发明公开
以氧化碲为声光介质的横波声光器件无效

公开(公告)号：CN102269883A

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN201110277946.9

申请日：2011-09-19

申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所

发明人： 张泽红 , 刘玲 , 李忠继 , 刘龙 , 杜明熙 , 周勇 , 罗传英 , 张传志 , 吴燕

IPC分类号： G02F1/11

摘要： 本发明公开了一种以氧化碲为声光介质的横波声光器件，包括表电极、换能器、键合层和声光介质，换能器通过键合层粘接于声光介质表面，表电极镀于换能器表面；所述声光介质为氧化碲晶体，换能器为铌酸锂，铌酸锂厚度方向与Y轴的夹角θ为163±5°。本发明在相同工艺条件下，分别使用X切铌酸锂和163±5°Y切铌酸锂在氧化碲晶体上制作横波声光器件，在相同温度范围下，163±5°Y切铌酸锂产生的裂纹约为X切铌酸锂的五分之一，大幅提高了氧化碲横波声光器件的可靠性。