公开(公告)号：CN112540514A

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：CN202011496764.6

申请日：2020-12-17

申请人： 中国电子科技集团公司第十三研究所

发明人： 刘丙凯 ,  刘晨宇 ,  袁彪 ,  孙磊磊 ,  马力 ,  左国森 ,  郝晓博 ,  杨国喆 ,  孙佳林 ,  郭鹏磊 ,  韩伟 ,  王涛 ,  王聪颖 ,  王丹丹 ,  郭平霞

IPC分类号： G03F7/30

摘要： 本发明提供了一种显影设备，属于芯片生产领域，包括溶液槽体、第一导向机构、第二导向机构、晃动驱动机构、晶圆盛放机构和控制单元；溶液槽体沿预设路径设有多个，预设路径垂直于上下方向；第一导向机构设于溶液槽体之外；第二导向机构与第一导向机构沿预设路径滑动配合；晃动驱动机构与第二导向机构沿上下方向滑动配合；晶圆盛放机构5连接于晃动驱动机构，晃动驱动机构用于使晶圆盛放机构以预设频率和预设幅度沿上下方向往复晃动；控制单元分别与第一导向机构、第二导向机构和晃动驱动机构通讯连接。本发明提供的显影设备无需操作人员手工操作，移动路径、浸泡时间、晃动频率均能得到精确控制，差错率降低，也降低了劳动强度。