一种脲基双咪唑啉缓蚀剂及其制备方法

    公开(公告)号:CN106432085A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201610878088.6

    申请日:2016-10-08

    IPC分类号: C07D233/06 C09K8/54 C09K8/74

    摘要: 本发明提供了一种脲基双咪唑啉缓蚀剂及其制备方法,所述缓蚀剂是由咪唑啉与尿素反应生成的分子中含有脲基的双咪唑啉,制备方法主要包括第一步,由有机酸和二乙烯三胺生成咪唑啉;第二步,将咪唑啉和尿素在高温下反应,生成脲基双咪唑啉。按本发明所制备的咪唑啉可以通过分子中的多个氮原子在金属表面形成多点吸附,而脲基双咪唑啉分子中的脲基易与金属表面的羟基形成氢键,进一步强化了咪唑啉在金属表面吸附成膜能力,降低了缓蚀剂高温下从金属表面的脱附速度,因而缓蚀效率得到明显提高。