公开(公告)号：CN205139073U

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201520858547.5

申请日：2015-10-30

申请人： 中国石油大学(华东)

发明人： 李振 ,  韩亚洲 ,  肖梦霜 ,  门连秀 ,  毛冬麟 ,  陈洁 ,  孔祥顺 ,  石强 ,  薛鑫

IPC分类号： G01N27/24

摘要： 本实用新型涉及一种可调节极板间距的平面电容传感器，包括驱动电极、屏蔽电极I、驱动电极板、绝缘基体I、检测电极、屏蔽电极II、检测电极板、绝缘基体II、上夹板、下夹板和紧固螺钉；驱动电极板和检测电极板被固定在上夹板和下夹板之间，且这两个极板之间的间距由四个紧固螺钉调节，从而实现了对不同深度缺陷的检测；驱动电极和检测电极都是正方形的，使更大的区域具有边缘电场，提高了检测精度和成像性能；驱动电极和屏蔽电极I、检测电极和屏蔽电极II分别被蚀刻在绝缘基体I、绝缘基体II的同一平面上，屏蔽电极I和屏蔽电极II能有效屏蔽外部噪声信号对边缘电场的干扰，从而提高传感器的抗电磁干扰能力和检测精度。