一种基于溅射薄膜式的测温测压球

    公开(公告)号:CN118190229A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410445725.5

    申请日:2024-04-15

    摘要: 本发明公开了一种基于溅射薄膜式的测温测压球,包括压力敏感芯体外壳、电池、核心电路板、多个转接电路板、溅射薄膜电桥电路;所述压力敏感芯体外壳内部存在凹型空腔,所述电池以及核心电路板均安装于球体内空腔中,所述转接电路板置于凹型空腔的两端凸起部位,所述溅射薄膜电桥电路置于凹型空腔的两端凸起之间的凹槽部位;所述电池通过电线连接至核心电路板,核心电路板通过电线分别与转接电路板、溅射薄膜电桥电路相连接。本发明能保证压力感应传感体积的最小化,具有精度高、蠕变性好、抗干扰能力强等优点。利用激光溅射薄膜方式可获得更高的稳定度,消除了粘贴式传感器的蠕变和老化现象,也不存在硅压阻式传感器对温度敏感突出问题。