基于太赫兹技术的热障涂层陶瓷层厚度测量方法

    公开(公告)号:CN110081826B

    公开(公告)日:2021-03-02

    申请号:CN201910353966.6

    申请日:2019-04-29

    IPC分类号: G01B11/06

    摘要: 本发明公开了一种利用太赫兹波测量热障涂层陶瓷层厚度的方法,利用反射式太赫兹时域光谱装置获取垂直入射信号和从样品表面反射的太赫兹信号;分别获取入射信号与样品反射信号的峰值并计算入射波与反射波的能量比;借助于波阻抗计算物质的折射率;从样品反射信号中提取前两个峰的延迟时间,进而计算出陶瓷层厚度。本发明提出的方法无需制作标准试件和建立复杂的理论模型,能够为热障涂层陶瓷层的厚度提供一种操作简单、快速、无损的检测方式。

    基于反射型太赫兹时域光谱技术的热障涂层多层厚度检测方法

    公开(公告)号:CN108519059B

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201810361948.8

    申请日:2018-04-20

    IPC分类号: G01B11/06

    摘要: 本发明公开了一种基于反射型太赫兹时域光谱技术的热障涂层多层厚度检测方法,包括以下步骤:首先应用太赫兹时域光谱检测装置分别测量太赫兹波透过空气和被检测的热障涂层反射的信号,作为时域的参考信号和样品信号,然后对参考信号做傅里叶变换,将其作为太赫兹入射频域谱信号;建立太赫兹多层反射理论模型;不断改变热障涂层中各层的厚度值,带入多层反射理论模型,得到样品的理论频域谱信号后对其进行反傅里叶变换,从而得到样品信号时域的理论值,并与实验测得的样品信号做比较,采用优化算法进行寻优,直到理论计算结果与实验测量结果一致,各层厚度值即为被检测厚度的结果;本发明可为热障涂层厚度的准确、无损、快速检测提供一种新的方法。

    基于反射型太赫兹时域光谱技术的热障涂层多层厚度检测方法

    公开(公告)号:CN108519059A

    公开(公告)日:2018-09-11

    申请号:CN201810361948.8

    申请日:2018-04-20

    IPC分类号: G01B11/06

    CPC分类号: G01B11/0625

    摘要: 本发明公开了一种基于反射型太赫兹时域光谱技术的热障涂层多层厚度检测方法,包括以下步骤:首先应用太赫兹时域光谱检测装置分别测量太赫兹波透过空气和被检测的热障涂层反射的信号,作为时域的参考信号和样品信号,然后对参考信号做傅里叶变换,将其作为太赫兹入射频域谱信号;建立太赫兹多层反射理论模型;不断改变热障涂层中各层的厚度值,带入多层反射理论模型,得到样品的理论频域谱信号后对其进行反傅里叶变换,从而得到样品信号时域的理论值,并与实验测得的样品信号做比较,采用优化算法进行寻优,直到理论计算结果与实验测量结果一致,各层厚度值即为被检测厚度的结果;本发明可为热障涂层厚度的准确、无损、快速检测提供一种新的方法。

    基于太赫兹技术的热障涂层陶瓷层厚度测量新方法

    公开(公告)号:CN110081826A

    公开(公告)日:2019-08-02

    申请号:CN201910353966.6

    申请日:2019-04-29

    IPC分类号: G01B11/06

    摘要: 本发明公开了一种利用太赫兹波测量热障涂层陶瓷层厚度的方法,利用反射式太赫兹时域光谱装置获取垂直入射信号和从样品表面反射的太赫兹信号;分别获取入射信号与样品反射信号的峰值并计算入射波与反射波的能量比;借助于波阻抗计算物质的折射率;从样品反射信号中提取前两个峰的延迟时间,进而计算出陶瓷层厚度。本发明提出的方法无需制作标准试件和建立复杂的理论模型,能够为热障涂层陶瓷层的厚度提供一种操作简单、快速、无损的检测方式。