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发明公开
一种测量微纳器件圆二色性光电流显微成像的方法审中-公开

公开(公告)号：CN116953460A

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202310343507.6

申请日：2023-04-03

申请人： 中国矿业大学

发明人： 张洋 , 薛晓兰 , 聂悦 , 胡宝欣 , 张志豪 , 王佳乐 , 陈令修 , 石礼伟

IPC分类号： G01R31/26 , G01N21/19 , G01N21/84

摘要： 本发明提供了一种测量微纳器件圆二色性光电流显微成像的方法，包括：步骤1，建立实验系统，所述实验系统包括532nm激光器、两个反射镜、斩波器、小孔空间滤波器、透镜、起偏器、四分之一波片、步进电机、照明白光LED、半反半透平板、分光晶体、电荷耦合器件CCD、显微物镜、二维微纳米平移台、电流放大器和锁相放大器；步骤2，通过实验系统测量微纳器件圆二色性光电流显微成像。本发明使用的光路和测试方法搭建简单，易操作。且价格相对于现有的测试设备低廉。