公开(公告)号：CN109374927A

公开(公告)日：2019-02-22

申请号：CN201811440708.3

申请日：2018-11-29

申请人： 中国矿业大学(北京)

发明人： 李艳 ,  曾浩轩 ,  周迅 ,  朱周宇

IPC分类号： G01P15/097

摘要： 本发明公开了一种全对称解耦的直接输出频率加速度计，所述加速度计结构为整体呈全对称分布；包括质量块(1)、第一检测弹性梁(2)、第二检测弹性梁(3)、第三检测弹性梁(4)、第四检测弹性梁(5)、第一谐振音叉(6)、第二谐振音叉(7)和外框架(8)；这种加速度计的设计特点在于：(1)采用直接输出频率，极大地减少信号损失，实现微弱信号检测。(2)采用全对称解耦结构，可以降低正交误差，提高加速度计的信噪比。(3)采用差动谐振结构，可以增加灵敏度，抑制大多数类型的共模干扰。(4)平面方案设计，易于适应线切割加工或MEMS相关工艺，易于小型化。

公开(公告)号：CN109490574B

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201811440726.1

申请日：2018-11-29

申请人： 中国矿业大学(北京)

发明人： 李艳 ,  张帅印 ,  朱周宇 ,  周迅 ,  曾浩轩

IPC分类号： G01P15/02

摘要： 本发明公开了一种谐振式硅微加速度计的非线性分析方法，包括：(1)建立谐振式硅微加速度计的非线性振动模型；(2)分析谐振式硅微加速度计的非线性振动影响因素及规律；(3)设计谐振式硅微加速度计的非线性振动补偿方法。谐振式硅微加速度计的非线性振动模型是以敏感结构振动特性为纽带，含有轴向拉力、轴向压力和残余内力的振动模型。谐振式硅微加速度计的非线性振动影响因素及规律分析是依据弯曲系数，定量分析谐振敏感结构非线性振动频率响应曲线的弯曲程度，研究非线性振动影响因素及规律。谐振式硅微加速度计的非线性振动补偿方法是根据敏感结构非线性振动引起的加速度计测量误差，建立非线性振动引起的频率输出模型，设计差动误差补偿结构，提出测量误差补偿方法。

公开(公告)号：CN109490574A

公开(公告)日：2019-03-19

申请号：CN201811440726.1

申请日：2018-11-29

申请人： 中国矿业大学(北京)

发明人： 李艳 ,  张帅印 ,  朱周宇 ,  周迅 ,  曾浩轩

IPC分类号： G01P15/02

摘要： 本发明公开了一种谐振式硅微加速度计的非线性分析方法，包括：(1)建立谐振式硅微加速度计的非线性振动模型；(2)分析谐振式硅微加速度计的非线性振动影响因素及规律；(3)设计谐振式硅微加速度计的非线性振动补偿方法。谐振式硅微加速度计的非线性振动模型是以敏感结构振动特性为纽带，含有轴向拉力、轴向压力和残余内力的振动模型。谐振式硅微加速度计的非线性振动影响因素及规律分析是依据弯曲系数，定量分析谐振敏感结构非线性振动频率响应曲线的弯曲程度，研究非线性振动影响因素及规律。谐振式硅微加速度计的非线性振动补偿方法是根据敏感结构非线性振动引起的加速度计测量误差，建立非线性振动引起的频率输出模型，设计差动误差补偿结构，提出测量误差补偿方法。