公开(公告)号：CN101419337A

公开(公告)日：2009-04-29

申请号：CN200810235567.1

申请日：2008-11-28

Applicant: 中国科学技术大学

Inventor： 王翔 ,  赵钢 ,  何冀军 ,  禇家如 ,  刘爽 ,  谭又华 ,  黄文浩

IPC: G02B27/00 ,  G02B1/02 ,  B23K26/00

Abstract: 本发明提供一种用于光斑三维压缩的超衍射相位调制片及其加工方法，调制片中心为凸起的圆台或圆形平底凹槽，环形平底凹槽与环形凸台间隔排布，所述的凸起的圆台、环形平底凹槽、环形凸台的表面处于同一平面，各环形平底凹槽的深度相同。其调制片的结构参数是依据惠更斯-菲涅尔原理方程推导确定。本发明利用微工艺方法制造获得一种三维压缩超衍射相位调制片，结合激光加工系统参数进行设计安装，用于飞秒激光加工系统的飞秒激光光斑三维压缩，改善光斑形状，提高加工分辨率，相位调制片为光学玻璃材料，具有制造工艺简单、精度高，安装结构紧凑，操作方便等优点，将在激光微纳米加工领域得到广泛的应用。

公开(公告)号：CN101419337B

公开(公告)日：2011-12-14

申请号：CN200810235567.1

申请日：2008-11-28

Applicant: 中国科学技术大学

Inventor： 王翔 ,  赵钢 ,  何冀军 ,  禇家如 ,  刘爽 ,  谭又华 ,  黄文浩

IPC: G02B27/00 ,  G02B1/02 ,  B23K26/00

Abstract: 本发明提供一种用于光斑三维压缩的超衍射相位调制片及其加工方法，调制片中心为凸起的圆台或圆形平底凹槽，环形平底凹槽与环形凸台间隔排布，所述的凸起的圆台、环形平底凹槽、环形凸台的表面处于同一平面，各环形平底凹槽的深度相同。其调制片的结构参数是依据惠更斯—菲涅尔原理方程推导确定。本发明利用微工艺方法制造获得一种三维压缩超衍射相位调制片，结合激光加工系统参数进行设计安装，用于飞秒激光加工系统的飞秒激光光斑三维压缩，改善光斑形状，提高加工分辨率，相位调制片为光学玻璃材料，具有制造工艺简单、精度高，安装结构紧凑，操作方便等优点，将在激光微纳米加工领域得到广泛的应用。