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发明公开
实现元素空间定位的双能焦点堆栈三维重构方法无效

公开(公告)号：CN110389140A

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201910633053.X

申请日：2019-07-11

申请人： 中国科学院上海应用物理研究所

发明人： 马立梅 , 张祥志 , 邰仁忠 , 许子健

IPC分类号： G01N23/046 , G01N23/04 , G06T11/00

摘要： 该发明涉及一种实现元素空间定位的双能焦点堆栈三维重构方法，包括以下步骤：测量样品中需要检测的元素的全电子产额吸收谱，以确定吸收边能量，并选定一个边前能量；对样品进行扫描成像，且入射光的能量为该元素的吸收边能量，获取一组吸收边上的第一焦点堆栈图像；对样品进行扫描成像，且入射光的能量为该元素的边前能量，获取一组吸收边前的第二焦点堆栈图像；利用焦点堆栈算法分别重构所述第一焦点堆栈图像和第二焦点堆栈图像，分别对应获取第一三维结构图以及第二三维结构图；将第一三维结构图与第二三维结构图通过K边减影或相比双能衬度法处理，获得该元素在样品中的空间分布情况。