公开(公告)号：CN105978394A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201610420481.0

申请日：2016-06-13

申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

发明人： 周晓峰 ,  向成豪 ,  车录锋

IPC分类号： H02N1/06 ,  G01P15/08

CPC分类号： H02N1/06 ,  G01P15/0802

摘要： 本发明提供一种柔性自发电式加速度传感器，包括：一个质量块和由多种材料结合形成的功能薄膜。可以加入衬底结构起到保护作用。所述功能薄膜固定于所述质量块，所述功能薄膜包括依次层叠设置的第一电极层、第一摩擦层、第二摩擦层和第二电极层；所述第二摩擦层通过表面微处理方法加工出微金字塔结构。构成功能薄膜的材料具有一定的黏附性，能保证组件的可靠连接。本发明的一种柔性自发电式加速度传感器，将摩擦发电技术和MEMS技术进行结合，在一定的加速度环境下，利用第一，第二摩擦层之间的相互摩擦产生电荷，从而得到与加速度相关的电压，具有可自发电自供给、可弯折、成本低、制作工艺简单、具有良好的抗摔性和防水性的优点。

公开(公告)号：CN107309146B

公开(公告)日：2021-01-19

申请号：CN201710481704.9

申请日：2017-06-22

申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

发明人： 周晓峰 ,  向成豪 ,  刘超然 ,  车录锋

IPC分类号： B05D1/02 ,  B05D1/04 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

摘要： 本发明提供一种微纳结构薄膜的制备方法及应用，采用喷枪喷涂方式制备获得所述微纳结构薄膜，该方法为气压式雾化喷涂或者静电喷涂的方式，将待喷涂材料的预聚液均匀喷涂覆盖于基底一侧，再通过一定时间的加热固化后，涂覆有材料的一侧会形成带有微纳结构薄膜的材料，该材料不仅拥有极大的比表面积，同时与基底材料连接紧密，不易脱落。该方法不仅步骤简单，同时成本低廉，对设备的要求不高，适合大面积、大批量、规模化制备。可以制备的薄膜包括蚕丝蛋白、聚二甲基硅氧烷、聚四氟乙烯等摩擦材料以及电极材料，并能显著提高纳米发电机、自发电压力传感器等基于摩擦发电原理产品的性能。

公开(公告)号：CN107309146A

公开(公告)日：2017-11-03

申请号：CN201710481704.9

申请日：2017-06-22

申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

发明人： 周晓峰 ,  向成豪 ,  刘超然 ,  车录锋

IPC分类号： B05D1/02 ,  B05D1/04 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

摘要： 本发明提供一种微纳结构薄膜的制备方法及应用，采用喷枪喷涂方式制备获得所述微纳结构薄膜，该方法为气压式雾化喷涂或者静电喷涂的方式，将待喷涂材料的预聚液均匀喷涂覆盖于基底一侧，再通过一定时间的加热固化后，涂覆有材料的一侧会形成带有微纳结构薄膜的材料，该材料不仅拥有极大的比表面积，同时与基底材料连接紧密，不易脱落。该方法不仅步骤简单，同时成本低廉，对设备的要求不高，适合大面积、大批量、规模化制备。可以制备的薄膜包括蚕丝蛋白、聚二甲基硅氧烷、聚四氟乙烯等摩擦材料以及电极材料，并能显著提高纳米发电机、自发电压力传感器等基于摩擦发电原理产品的性能。