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公开(公告)号：CN119522033A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202411626154.1
申请日：2024-11-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于约瑟夫森结的超导量子干涉器件及其制备方法，通过改进约瑟夫森结的制作工艺，在对光刻胶剥离的过程中，加入有机清洗工艺，使得进行连续堆积形成的侧墙能够被去除，提高了后续沉积的薄膜质量，使得SQUID输出曲线不易发生谐振，提高了SQUID批量制备工艺的良率；本发明在传统的SQUID的基础上，每个约瑟夫森结上额外再串联或并联一个约瑟夫森结，形成具有四个约瑟夫森结的SQUID，从而获得更大的输出电压调制深度，使得SQUID具有更高的灵敏度、更低的噪声和更大的线性范围，使电路不易失锁，不需要添加冗长的偏置线条，不用担心磁通串扰和磁通相干性差等问题，在版图结构设计上也更加简单方便。
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