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发明公开
一种光纤-波导耦合器及其制作方法审中-实审

公开(公告)号：CN118655660A

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202410768252.2

申请日：2024-06-14

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 张伟君 , 洪逸裕 , 王钰泽 , 熊佳敏 , 陈志刚

IPC: G02B6/30 , G02B6/26

Abstract: 本发明提供一种光纤‑波导耦合器及其制作方法，通过将第一多模光纤与高折射率光纤熔接，形成特定尺寸的渐变结构，有效降低了模式转换损耗。同时，通过凹槽技术将经过拉锥处理的高折射率光纤固定于SOI衬底上，实现了高折射率光纤与锥形波导的高精度对准和绝热耦合，显著提升耦合效率和带宽。在1550纳米工作波长下，该光纤‑波导耦合器仿真耦合效率高达99.4％，‑1dB带宽约220纳米。本发明的光纤‑波导耦合器制作工艺简单，成本低，无需昂贵的3D打印技术或波导悬空设计，具有优良的结构稳定性，对位置变化不敏感，且能抵抗机械振动，适用于低温工作环境。

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