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公开(公告)号：CN119855478A
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202411986152.3
申请日：2024-12-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种高温超导量子干涉器件及其制备方法，将高温SQUID芯片和高温超导磁通聚焦拾取线圈分别进行独立设计，再通过胶固化的形式将高温SQUID芯片和磁通聚焦拾取线圈组合固定在PCB基板上以形成高温超导量子干涉器件。该制备方式，使得约瑟夫森结和高温超导磁通聚焦拾取线圈不会被制备在同一层薄膜上，而由于高温超导磁通聚焦拾取线圈的制备难度较小，使得高温超导磁通聚焦拾取线圈的制备良率大幅提高，降低了由于约瑟夫森结制备难度大带来的大面积薄膜的损失，有效降低制备高温超导量子干涉器件的成本。此外，无需受约瑟夫森结制备工艺的限制，使得高温超导磁通聚焦拾取线圈的尺寸可以进一步增大，进而提升超导量子干涉器件的探测灵敏度。
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