公开(公告)号：CN109659386B

公开(公告)日：2021-08-20

申请号：CN201811486995.1

申请日：2018-12-06

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李浩 ,  尤立星 ,  王河清 ,  王镇

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/0232 ,  H01L31/0352

Abstract: 本发明提供一种多光谱超导纳米线单光子探测器，包括：衬底；第一光学薄膜叠层结构，位于衬底的上表面；第二光学薄膜叠层结构，位于第一光学薄膜叠层结构的上表面；第二光学薄膜叠层结构的中心波长与第一光学薄膜叠层结构的中心波长不同；超导纳米线，位于第二光学薄膜叠层结构的上表面。本发明的第二光学薄膜叠层结构即作为反射镜用于在其中心波长处达到高效吸收，又对第一光学薄膜叠层结构反射波段的光起到相移的作用，导致其吸收波长发生偏移、吸收峰数量变多，可以实现多个波段的高效吸收，即可以得到多个共振吸收波长，从而可以满足用户对不同波段单光子探测器的应用需求，以及多波段成像或多波段探测等应用的需求。

公开(公告)号：CN109659386A

公开(公告)日：2019-04-19

申请号：CN201811486995.1

申请日：2018-12-06

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李浩 ,  尤立星 ,  王河清 ,  王镇

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/0232 ,  H01L31/0352

Abstract: 本发明提供一种多光谱超导纳米线单光子探测器，包括：衬底；第一光学薄膜叠层结构，位于衬底的上表面；第二光学薄膜叠层结构，位于第一光学薄膜叠层结构的上表面；第二光学薄膜叠层结构的中心波长与第一光学薄膜叠层结构的中心波长不同；超导纳米线，位于第二光学薄膜叠层结构的上表面。本发明的第二光学薄膜叠层结构即作为反射镜用于在其中心波长处达到高效吸收，又对第一光学薄膜叠层结构反射波段的光起到相移的作用，导致其吸收波长发生偏移、吸收峰数量变多，可以实现多个波段的高效吸收，即可以得到多个共振吸收波长，从而可以满足用户对不同波段单光子探测器的应用需求，以及多波段成像或多波段探测等应用的需求。

公开(公告)号：CN112781725A

公开(公告)日：2021-05-11

申请号：CN201911089065.7

申请日：2019-11-08

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李浩 ,  王河清 ,  尤立星 ,  王镇

IPC: G01J1/42 ,  B82Y15/00 ,  B82Y30/00

Abstract: 本发明提供一种多光谱超导纳米线单光子探测器、成像系统及成像方法，包括：衬底；薄膜叠层结构，位于衬底的上表面，薄膜叠层结构包括依次上下交替叠置的第一薄膜层及第二薄膜层，第一薄膜层的折射率与第二薄膜层的折射率不同，且第一薄膜层的厚度与第二薄膜层的厚度不同；中心波长优化层，位于薄膜叠层结构的上表面；超导纳米线，位于中心波长优化层薄膜层上表面。本发明可以获得多个中心波长的反射带，各反射带相当于对应其中心波长的反射镜，用于在其中心波长附近达到高效吸收；由于薄膜叠层结构中包括多个反射带，可以实现多个波段的高效吸收，从而可以满足用户对不同波段单光子探测器的应用需求，以及多波段成像或多波段探测等应用的需求。