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公开(公告)号：CN110793631A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201911088171.3
申请日：2019-11-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J1/46
Abstract: 本发明提供一种具有渐变传输线的超导纳米线单光子探测系统，包括：超导纳米线单光子探测器；渐变传输线，一端与超导纳米线单光子探测器相连接；高通滤波器，一端与渐变传输线连接于超导纳米线单光子探测器的一端相连接，另一端接地；三端口器件，三端口器件的第一端口与渐变传输线远离所述超导纳米线单光子探测器及高通滤波器的一端相连接；电流源，一端与三端口器件的第二端口相连接；放大器，放大器的输入端与三端口器件的第三端口相连接，放大器的接地端接地；超导纳米线单光子探测器、渐变传输线及高通滤波器集成于同一芯片上。本发明可以实现高频信号的放大，降低时间抖动及提高计数率等超导纳米线单光子探测器的整体性能。
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公开(公告)号：CN111947778B
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202010837660.0
申请日：2020-08-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种超导纳米线及超导纳米线单光子探测器，包括：依次形成于衬底上的光学结构及超导纳米线，超导纳米线包括依次交替叠置的n层电隔离层及n+1层超导纳米材料层；各超导纳米材料层的厚度从下至上依次递增、宽度从下至上依次递减，各超导纳米材料层的材料相同，具有两层以上电隔离层时各电隔离层的材料相同，n为大于等于1的自然数。本发明采用叠层结构的纳米线提升吸收效率；同时将上层的纳米线设置为具有较大的厚度，以补偿加工上的缺陷，进一步提升上层纳米线的吸收效率，实现高效探测；叠层结构中每层超导纳米材料层厚度均比较薄，可以保证每条超导纳米线都能较好响应光子；还通过设置反射镜结构或薄膜覆盖层得到不同的光谱响应特性。
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公开(公告)号：CN111947778A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010837660.0
申请日：2020-08-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种超导纳米线及超导纳米线单光子探测器，包括：依次形成于衬底上的光学结构及超导纳米线，超导纳米线包括依次交替叠置的n层电隔离层及n+1层超导纳米材料层；各超导纳米材料层的厚度从下至上依次递增、宽度从下至上依次递减，各超导纳米材料层的材料相同，具有两层以上电隔离层时各电隔离层的材料相同，n为大于等于1的自然数。本发明采用叠层结构的纳米线提升吸收效率；同时将上层的纳米线设置为具有较大的厚度，以补偿加工上的缺陷，进一步提升上层纳米线的吸收效率，实现高效探测；叠层结构中每层超导纳米材料层厚度均比较薄，可以保证每条超导纳米线都能较好响应光子；还通过设置反射镜结构或薄膜覆盖层得到不同的光谱响应特性。
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公开(公告)号：CN110793630A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201911088164.3
申请日：2019-11-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J1/46
Abstract: 本发明提供一种具有阻抗匹配传输线的超导纳米线单光子探测系统，包括：超导纳米线单光子探测器；1/4波长阻抗匹配传输线，一端与超导纳米线单光子探测器相连接；高通滤波器，一端与1/4波长阻抗匹配传输线连接于超导纳米线单光子探测器的一端相连接，另一端接地；三端口器件三端口器件的第一端口与1/4波长阻抗匹配传输线远离超导纳米线单光子探测器的一端相连接；电流源，一端与三端口器件的第二端口相连接；放大器，放大器的输入端与三端口器件的第三端口相连接，放大器的接地端接地。本发明可以实现特定频率信号的匹配读出，实现脉冲幅度的放大，降低时间抖动；可以将信号中低频成分整形去掉，提高计数率及探测速率。
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