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公开(公告)号:CN120027922A
公开(公告)日:2025-05-23
申请号:CN202510162113.X
申请日:2025-02-14
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01J9/00
Abstract: 本发明提出一种基于时序相关特性提高哈特曼波前测量精度的方法及装置,属于光学像差测量技术领域。该方法计算各像素点的探测信号和参考信号的时序相关性,选择合适的时序相关性阈值,筛选具备高信噪比的像素点对参与质心计算的光斑区域进行选择并使用选择的光斑区域计算光斑质心。本发明的方法可以避免在阈值选择和噪声抑制中的局限性,并且降低波前测量精度对噪声的敏感程度,进一步提升哈特曼波前传感器在高精度测量领域的波前探测精度和稳定性。
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公开(公告)号:CN119000021A
公开(公告)日:2024-11-22
申请号:CN202411160945.X
申请日:2024-08-22
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于哈特曼传感器的指向偏差测量装置和方法,该装置包括:倾斜镜,用于对激光指向偏差进行标定;中继光学系统,用于对包含指向偏差的入射光束进行缩束并使出射光束直径与光电探测器口径匹配;微透镜阵列,接收收缩后的光束,并将该光束分为若干个子光束;光电探测器,放置在微透镜的焦平面上,用于接收聚焦光斑图像,并且将激光信号转换成电信号;数据采集与处理模块,用于对探测信号进行采集和处理,且将探测信号以数值化形式输出至指向偏差测量分析模块;指向偏差测量分析模块,用于获取入射光束高精度指向偏差测量结果。根据本发明技术方案,可抑制并降低多种像差和噪声源,显著提升指向偏差测量精度。
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