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公开(公告)号：CN114996975B
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202210844329.0
申请日：2022-07-19
申请人： 中国科学院光电技术研究所 , 成都同力精密光电仪器制造有限公司
摘要： 本发明涉及一种基于超精密车削的光学曲面表面形貌仿真方法，属于超精密加工技术领域。基于已规划超精密刀具轨迹模型，对仿真区域进行网格点划分，计算网格点在径向截面上所有的刀具轨迹刀触点，并进行刀具半径补偿，得到对应刀触点的刀位点，根据网格点和已规划刀位点的几何位置关系计算出仿真区域内所有网格点的最小残留高度坐标数据，实现了整个仿真区域内光学曲面的表面形貌仿真，将表面形貌仿真数据去除光学曲面理论设计的形状成分可实现对光学曲面的加工面形误差分布情况的预测。本发明考虑了已规划刀具轨迹的刀具半径补偿对形貌仿真的影响，可以在车削实验前预测实际加工工件的表面形貌，无需进行多次昂贵费时的试错实验。
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公开(公告)号：CN113369949A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202110775116.2
申请日：2021-07-08
申请人： 中国科学院光电技术研究所 , 成都同力精密光电仪器制造有限公司
摘要： 本发明公开了一种大矢高凸球柱面微透镜阵列的刨削加工装置，该装置包括：超精密车削机床、刨削运动装置和真空吸附系统，刨削运动装置设置于超精密车削机床的X轴进给平台上，Y轴工作台设置于主轴平面上，真空吸附系统设置于Z轴进给平台上，Z轴进给平台与X轴进给平台位于同一平面内且相互垂直，X轴进给平台和Z轴进给平台呈T型分布。数控系统控制刨削运动装置带动刨削面板移动并切削。本发明属于超精密加工领域，可实现刨削单次加工切削深度的控制，金刚石刨削车刀在X轴和Z轴进给加工阵列微结构时，单次切削深度的变化可实现同曲面结构的大矢高凸球柱面微透镜阵列；同时在微透镜阵列的超精密加工中能实现高效率、高质量的效果。
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公开(公告)号：CN109581827B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201910026093.8
申请日：2019-01-10
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本公开提供了一种光刻投影物镜最佳焦面检测装置及方法，其装置包括：照明装置、分光装置、透镜阵列、掩模板、反射器件、光电探测装置和控制器；照明装置产生准直的光束，经分光装置透射，透镜阵列聚焦至掩模板进行空间滤波至光刻投影物镜，反射器件反射通过光刻投影物镜的聚焦光束；光电探测装置，探测所述反射器件反射光束经所述掩模板空间滤波后的光束强度并发出光束强度信号；控制器连接所述工件台和所述光电探测装置，控制所述工件台运动和/或采集所述光电探测装置探测的光束强度信号。本公开利用反射器件在光刻投影物镜光轴方向的移动，根据各个视场反射光强的变化，得到光刻投影物镜的最佳焦面位置。
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公开(公告)号：CN108415171A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810183042.1
申请日：2018-03-06
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明提供一种光学准直扩束系统，解决了高NA光刻技术中激光光束在不同传输距离时，光束口径和发散角不能满足使用需求的问题。所述光学准直扩束系统由两块球面镜和四块柱面镜组成，其中两块柱面镜光焦度为y方向，另外两块柱面镜光焦度为x方向，单片球面镜与不同光焦度方向柱面镜组成一组准直扩束器，该系统共两组准直扩束器，第一组准直扩束器先对激光光束进行扩束，然后使激光在5米～20米范围内传输，再用第二组准直扩束器对激光光束进行准直，保证x方向光束和y方向光束均能口径和发散角要求。该光学准直扩束系统结构简单，易于加工装调，在不同传输距离时无动件，易于机械控制。
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公开(公告)号：CN106596491A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611206859.3
申请日：2016-12-23
申请人： 中国科学院光电技术研究所
IPC分类号： G01N21/64
CPC分类号： G01N21/64 , G01N21/6402
摘要： 本发明公开了一种紫外级熔石英材料内羟基含量测量装置和方法，紫外级熔石英材料在深紫外激光照射下激发荧光，而荧光的强度与羟基含量有密切关系，利用该特性实现紫外级熔石英材料内羟基含量的测量，该装置结构简单，成本低，而且是非接触、非破坏性测量，不影响光学材料的使用。在光学材料性能分析中应用该方法，可以实现材料内羟基含量的实时测量，对分析材料性能具有重要参考价值。
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公开(公告)号：CN103984094B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201410219068.9
申请日：2014-05-22
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 一种光学系统的热性能仿真方法，该方法根据光线在光学系统中的传播路径及光学元件对光能的吸收机理将光学元件的热源分为表面热源和体热源，准确仿真光学系统各元件的热源分布，对光学系统进行准确的热性能仿真。其关键在于提出准确的表面热源和体热源加载方法及相应的光学系统元件热性能分析网格模型划分方法，实现对光学系统热源的准确仿真，进而实现了更为准确的光学系统热性能仿真。该方法对分析高精度光学系统的热像差分析及热像差补偿研究提供重要依据。
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公开(公告)号：CN104181779A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410454177.9
申请日：2014-09-05
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明公开了一种光学系统波像差检测装置，该光学系统波像差检测装置中照明模块将光源发出的光线均匀投射至光学系统物面上。针孔阵列位于光学系统的物面位置，具有空间扩展和空间分割的作用。剪切光栅安装在光学系统的像面位置。通过精动台带动剪切光栅进行横向移动，实现相移功能。利用准直光学镜组，将携带光学系统波像差信息的同心球面波剪切转换为平面波剪切。利用探测器记录相移过程中的剪切干涉图光场信息。本发明使用针孔阵列提高了检测系统光能；利用光栅实现剪切干涉。通过光栅横向移动进行相移；利用准直光学镜组将球面干涉转换为平面干涉，消除了平面探测器接收球面干涉的误差；实现了光学系统波像差的高精度检测。
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公开(公告)号：CN102620680B
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201210087949.0
申请日：2012-03-29
申请人： 中国科学院光电技术研究所
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明是一种三平面绝对测量光学面形的检测装置及方法，激光器发射的光经过空间滤波器、分光镜、准直光学组件、第一夹持架上平面后产生参考光，第一夹持架上的平面和第二夹持架上的平面产生干涉，干涉光经光路返回后经过分光镜再由聚光镜组收集到CCD探测器接收。移相器用来产生移相。转台用来控制第二夹持架上的平面旋转。通过计算机控制插入转像组件可以用来产生第一夹持架上的平面和第二夹持架上的平面不同维度方向的检测结果，再通过第二夹持架上的平面的旋转来解出平面的绝对面形，在原有的三平面测量的奇偶函数法的基础上，解决了奇奇函数求取的问题，同时减少了求取高频分量所需的测量次数。
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公开(公告)号：CN103487945A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201310461627.2
申请日：2013-09-30
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明提供一种高效偏振纯化装置，由波片堆、四分之一波片、反射镜组成。波片堆倾斜放置，其表面法线与水平方向成布儒斯特角，使得激光器发出的平行光以布儒斯特角入射波片堆，反射S偏振光，透射P偏振光。在S反射光方向放置一四分之一波片，使得反射S偏振光垂直照射四分之一波片，光轴与水平方向成45°。在四分之一波片后面放置一反射镜，S偏振光经过四分之一波片和反射镜后转换成P偏振光，以布儒斯特角入射波片堆。在反射光经过波片堆后的出射光方向的边缘处放置一垂直于波片堆的反射镜，使其出射光正好沿着水平方向。本发明利用极少的元件，获得高偏振度、高偏振纯度、高能量利用率的单方向线偏振光。
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